[发明专利]一种声表面波谐振器有效
| 申请号： | 202210527406.X | 申请日： | 2022-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN115102517B | 公开（公告）日： | 2023-10-03 |
| 发明（设计）人： | 李桦林;马晋毅;陈正林;谭发曾;董加和;陈彦光 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学;中国电子科技集团公司第二十六研究所 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02 |
| 代理公司： | 重庆辉腾律师事务所 50215 | 代理人： | 王海军 |
| 地址： | 200030 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 表面波 谐振器 | ||
【权利要求书】：
1.一种声表面波谐振器，其特征在于，包括：压电材料(101)、叉指换能器(102)和嵌入式介电材料(103)；叉指换能器(102)和嵌入式介电材料(103)均设置在压电材料(101)上，嵌入式介电材料(103)周期性的分布于叉指换能器的两个相邻电极指条之间。
2.根据权利要求1所述的一种声表面波谐振器，其特征在于，嵌入式介电材料(103)的宽度与叉指换能器(102)的两个相邻电极指条的间隙相同。
3.根据权利要求1所述的一种声表面波谐振器，其特征在于，嵌入式介电材料(103)的周期b与叉指换能器(102)的半周期a的比值为大于或等于2的整数。
4.根据权利要求1所述的一种声表面波谐振器，其特征在于，嵌入式介电材料(103)的厚度h2大于或等于叉指换能器(102)的电极厚度h1。
5.根据权利要求1所述的一种声表面波谐振器，其特征在于，压电材料(101)为铌酸锂或铌酸锂薄膜复合材料。
6.根据权利要求1所述的一种声表面波谐振器，其特征在于，嵌入式介电材料(103)为二氧化硅或氮化硅。
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