[发明专利]一种声表面波谐振器

说明书

本发明属于滤波器技术领域，具体涉及一种声表面波谐振器；该谐振器包括：压电材料、叉指换能器和嵌入式介电材料；叉指换能器和嵌入式介电材料均设置在压电材料上，嵌入式介电材料周期性的分布于叉指换能器的两个相邻电极指条之间且嵌入式介电材料的宽度与叉指换能器的两个相邻电极指条的间隙相同；本发明解决了瑞利波干扰问题，提高了滤波器通带平坦度和带外抑制能力，具有更好的综合滤波性能。同时，本发明在工艺方面容易实现，可在任意频段推广，实用性高。

技术领域

本发明属于滤波器技术领域，具体涉及一种声表面波谐振器。

背景技术

声表面波滤波器，其具有体积小、重量轻、一致性好等优点。随着移动通信的快速增长，声表面波滤波器已广泛应用于移动通讯设备中。各种射频前端系统对宽带低损耗滤波器的需求日益增加。

通常宽带低损耗声表面波滤波器采用铌酸锂作为压电衬底。然而，常规的铌酸锂衬底的声表面波谐振器在谐振点和反谐振点附近存在严重的瑞利波寄生，该瑞利波寄生会严重影响滤波器通带的平坦度，使滤波器在通带内会形成大于5dB的波动，影响滤波器的实际使用。

声表面波滤波器由声表面波谐振器设计制成，因此，亟需一种可抑制通带附近的瑞利波，能提高滤波器通带平坦度和带外抑制能力的声表面波谐振器。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本发明提出了一种声表面波谐振器，该谐振器包括：压电材料(101)、叉指换能器(102)和嵌入式介电材料(103)；叉指换能器(102)和嵌入式介电材料(103)均设置在压电材料(101)上，嵌入式介电材料(103)周期性的分布于叉指换能器的两个相邻电极指条之间。

优选的，嵌入式介电材料(103)的宽度与叉指换能器(102)的两个相邻电极指条的间隙相同。

优选的，嵌入式介电材料(103)的周期b与叉指换能器(102)的半周期a的比值为大于或等于2的整数。

优选的，嵌入式介电材料(103)的厚度h2大于或等于叉指换能器(102)的电极厚度h1。

优选的，压电材料(101)为铌酸锂或铌酸锂薄膜复合材料。

优选的，嵌入式介电材料(103)为二氧化硅或氮化硅。

本发明的有益效果为：本发明提供的一种声表面波谐振器通过周期性的设置嵌入式介电材料，使其可抑制通带附近的瑞利波；与常规声表面波谐振器相比，本发明解决了瑞利波干扰问题，提高了滤波器通带平坦度和带外抑制能力，具有更好的综合滤波性能。同时，本发明在工艺方面容易实现，可在任意频段推广，实用性高。

附图说明

图1为本发明中声表面波谐振器结构剖面示意图；

图2为本发明中声表面波谐振器结构俯视图；

图3为本发明中声表面波谐振器的制作流程图；

图4为由常规声表面波谐振器结构设计的声表面波滤波器的导纳响应曲线图；

图5为由本发明中声表面波谐振器结构设计的声表面波滤波器的导纳响应曲线图；

图6为由常规声表面波谐振器结构设计的声表面波滤波器的频响曲线图；

图7为由本发明中声表面波谐振器结构设计的声表面波滤波器的频响曲线图；

图中：101、压电材料；102、叉指换能器；103、嵌入式介电材料。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。