[发明专利]一种用于太阳能硅片加工的石英舟上下料装置

权利要求书

1.一种用于太阳能硅片加工的石英舟上下料装置，其特征在于，包括：

石英舟定位机构，用于固定石英舟；以及

篮具定位机构，分置于石英舟定位机构的两侧，用于固定篮具；

机械手，所述机械手包括

吸盘组，由多个片状吸盘叠置而成，各片状吸盘相互间隔设置；

驱动构件，用于驱动所述吸盘组进行位移，驱动构件被装配为能够驱动吸盘组沿水平和竖直方向平移，且能够驱动吸盘组沿水平轴线翻转，该水平轴线与片状吸盘的盘面垂直；

所述机械手设有两组且分置于石英舟定位机构的两侧，两组机械手上的片状吸盘相互交错设置，使各自携带的各硅片之间的缝隙与对方携带的各硅片相对，当两机械手相互靠近时能够使两者携带的硅片交错插合，且两机械手上的片状吸盘分别吸附在相邻两硅片的不同侧；

还包括合并机构，所述合并机构被装配为当两机械手携带的硅片相互插合时，能够驱动两机械手的吸盘组沿片状吸盘的法向相互合拢，进而使两者携带的两相邻两硅片贴合；

所述驱动构件包括摆臂，所述吸盘组沿垂直于片状吸盘的方向滑动设置在摆臂上，所述合并机构包括用于驱动吸盘组相对于摆臂滑动的活塞缸；

所述活塞缸的一侧腔体以及吸盘组的吸气口分别与截止阀的两个端口连通，所述截止阀具有工位a和工位b，当截止阀处于工位a时能够将所述两个端口连通，当截止阀处于工位b时能够将所述两个端口断开；所述吸盘组件的吸气口还与真空气源连通且两者之间设有开关阀；

所述两机械手之间设有一挡块，两机械手上的截止阀的阀芯分别与挡块的两侧相对设置，截止阀上设有驱动阀芯滑动的第一弹簧，当两机械手相互合拢时，所述挡块能够挤压所述阀芯使截止阀由工位b切换至工位a，当两机械手相互远离时，阀芯能够在第一弹簧的作用下由工位a切换至工位b。

2.根据权利要求1所述的用于太阳能硅片加工的石英舟上下料装置，其特征在于：所述摆臂转动设置在第一平移支架上，且第一平移支架上设有驱动摆臂摆动的第一驱动元件；所述第一平移支架滑动设置在第二平移支架上，且第二平移支架与第一平移支架之间设有第二弹簧；所述第二平移支架安装在水平电缸的滑座上；所述截止阀安装在第二平移支架上，当两机械手的第二平移支架相互合拢时，两机械手的第一平移支架先与所述挡块贴合，此时两第二平移支架能够继续合拢一段距离以驱动截止阀由工位b切换至工位a，此时所述第二弹簧被压缩。

3.根据权利要求2所述的用于太阳能硅片加工的石英舟上下料装置，其特征在于：所述吸盘组与摆臂之间设于第三弹簧，第三弹簧作用在吸盘组上的弹力与活塞缸驱动吸盘组滑动时的方向相反。

4.根据权利要求2所述的用于太阳能硅片加工的石英舟上下料装置，其特征在于：所述水平电缸沿竖直方向滑动设置在机架上，且机架上设有用于驱动水平电缸上下运动的第二驱动元件。

5.根据权利要求2所述的用于太阳能硅片加工的石英舟上下料装置，其特征在于：所述挡块固定在水平电缸的中部。

6.根据权利要求4所述的用于太阳能硅片加工的石英舟上下料装置，其特征在于：所述水平电缸上对称固接有两滑块，两滑块与机架上设置的竖直轨道构成滑动配合。

7.根据权利要求4所述的用于太阳能硅片加工的石英舟上下料装置，其特征在于：所述第一驱动元件为伺服电机，所述第二驱动元件为竖直电缸。