[发明专利]一种多步进测量方法

说明书

本发明属于自动化切割设备的步进方法技术领域，特别提供了一种多步进测量方法。本多步进测量方法的具体步骤包括：登记目标图案；设定相机镜头扫描距离；计算相机镜头的步进距离；相机镜头按上述步进距离扫描料片，抓取图像与目标图案进行匹配；截取最大平移量数据集合；提取平移数据，并与原始数据做对齐，整合出对比数据；计算每组数据的均方误差，得出第一个block的数据集合及其步进个数；根据步骤七中的第一个block的数据集合及其步进个数计算刀具一个block内的步进数据及每个数据的循环次数。本方法可实现设备自动化测量步进，大幅提高步进测量效率；对所有block中每个对应步进坐标取平均值，降低测量数据的误差。

技术领域

本发明属于自动化切割设备的步进方法技术领域，特别提供了一种多步进测量方法。

背景技术

自动化设备已在工业领域广泛应用。随着信息技术的进步和电子设备的普及，半导体加工成为如今工业技术的前沿。目前市面上的自动化切割设备渐渐无法满足半导体加工的旺盛需求。

目前市面上常见的自动化切割设备，其切割步进的数据采集和设置均由工作人员手动完成。首先手动移动镜头到当前切割道，记录第一个数据点坐标位置x，再移动镜头到下一个切割道，记录第二个数据点坐标位置y，刀具完成一次切割后移动到下一个切割位置所需的步进值为z=y-x。整个操作过程不仅需要设定预设重复次数，且每个步进测量的误差不同，也无法矫正。因此，需要一种能够提高步进测量效率，且能够进一步降低误差的多步进测量方法。

发明内容

为解决上述问题，本发明提供了一种多步进测量方法。

为实现上述目的，本发明采用的技术方案是：一种多步进测量方法，其特征在于：所述测量方法的其具体步骤包括：

步骤一、登记目标图案；

步骤二、设定相机镜头扫描距离；

步骤三、初步扫描料片，计算相机镜头的步进距离；

步骤四、相机镜头按步骤三中设定的步进距离扫描料片，抓取图像与目标图案进行匹配；

步骤五、计算最大平移量，截取最大平移量数据集合；

步骤六、提取平移数据，并与原始数据做对齐，整合出对比数据；

步骤七、计算每组数据的均方误差，得出第一个block的数据集合及其步进个数；

步骤八、根据步骤七中的第一个block的数据集合及其步进个数计算刀具一个block的步进数据及每个数据的循环次数。

进一步地，所述测量方法还包括：

步骤九、对刀具block内各数据之间做差分，得出连续重复步进的重复次数y。

进一步地，步骤一中登记目标图案，具体为：

选定料片切割道附近具有能够体现该区域为切割道的标志性图案作为目标图案，并将该目标图案输入至应用所述测量方法的切割机的控制系统中。

进一步地，步骤二中设定相机镜头扫描距离，具体为：

设定相机镜头需要扫描的距离d，即料片的Y轴尺寸。

进一步地，步骤三中初步扫描料片，计算相机镜头的步进距离，具体为：

根据步骤一中所设定目标图案计算相机镜头的步进距离；相机镜头拍摄图像的Y轴尺寸为h，目标图案的Y轴尺寸为h^’，计算相机镜头的步进距离s=h-h^’。

进一步地，步骤四中相机镜头按步骤三中设定的步进距离扫描料片，抓取图像与目标图案进行匹配，具体为：