[发明专利]一种喷气面积增大的气相沉积炉

权利要求书

1.一种喷气面积增大的气相沉积炉，包括炉体，所述炉体的内腔设为沉积腔，其特征在于，所述沉积腔内设气体喷头导管，所述气体喷头导管与气体导管连通，所述气体导管置于所述炉体的外部，所述气体喷头导管上设有从各个角度向所述沉积腔喷射的若干个气体扩散喷头，所述气体扩散喷头与所述气体喷头导管导通。

2.根据权利要求1所述的喷气面积增大的气相沉积炉，其特征在于，所述炉体包括可隔热的外壁和盖板，所述外壁设为顶端开口的腔体结构，所述盖板可拆卸地盖设于所述外壁的开口上，所述气体喷头导管置于所述外壁的内腔中。

3.根据权利要求2所述的喷气面积增大的气相沉积炉，其特征在于，所述外壁的下方设有用于支撑所述外壁的底座，所述底座上设有向所述外壁的内腔延伸的固定立柱，所述固定立柱的自由端置于所述外壁的内腔中，用于固定待处理高温材料。

4.根据权利要求2所述的喷气面积增大的气相沉积炉，其特征在于，所述气体喷头导管沿着所述外壁的内腔的内壁设置。

5.根据权利要求2-4任一所述的喷气面积增大的气相沉积炉，其特征在于，还包括进气仓，所述气体导管设于所述进气仓与所述气体喷头导管之间，且与所述进气仓与所述气体喷头导管导通。

6.根据权利要求5所述的喷气面积增大的气相沉积炉，其特征在于，所述气体导管穿过所述外壁连接所述气体喷头导管和所述进气仓。

7.根据权利要求5所述的喷气面积增大的气相沉积炉，其特征在于，所述气体导管上设有气体加热器。

8.根据权利要求5所述的喷气面积增大的气相沉积炉，其特征在于，所述进气仓上连接有若干个进气管。

9.根据权利要求5所述的喷气面积增大的气相沉积炉，其特征在于，所述进气仓内设电动机和风扇，所述电动机置于所述进气仓的顶壁上，且与所述风扇驱动连接。

10.根据权利要求1所述的喷气面积增大的气相沉积炉，其特征在于，所述气体扩散喷头呈圆锥状，且表面设有若干个喷射孔。