[发明专利]一种喷气面积增大的气相沉积炉

说明书

本发明提供了一种喷气面积增大的气相沉积炉，涉及化工设备技术领域，该气相沉积炉包括炉体，炉体的内腔设为沉积腔，沉积腔内设气体喷头导管，气体喷头导管与气体导管连通，气体导管置于炉体的外部，气体喷头导管上设有从各个角度向沉积腔喷射的若干个气体扩散喷头，气体扩散喷头与气体喷头导管导通。本发明的气体扩散喷头能够从各个角度向沉积腔喷射气体，可将气体大面积均匀喷出，实现气体与待处理高温材料的充分反应，克服了气体与待处理高温材料反应不均匀导致的材料损坏的缺陷。

技术领域

本发明涉及化工设备技术领域，尤其是涉及一种喷气面积增大的气相沉积炉。

背景技术

化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术。化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。这些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物，也可以是III-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多元的元素间化合物，而且它们的物理功能可以通过气相掺杂的淀积过程精确控制。目前，化学气相淀积已成为无机合成化学的一个新领域。

随着工业生产要求的不断提高，气相沉积工艺及设备得到不断改进，现已获得了更多新的膜层，并大大提高了膜层的性能和质量。与此同时交叉、综合地使用复合的方法，不仅启用了各种新型的加热源，还充分运用了各种化学反应、高频电磁(脉冲、射频、微波等)及等离子体等效应来激活沉积离子，成为技术创新的重要途径。

但是气相沉积炉内的气体与待处理材料的反应不均匀，导致材料损坏成为了本领域技术人员亟待解决的技术问题。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提供一种喷气面积增大的气相沉积炉，以解决现有技术中气相沉积炉的气体与待处理材料的反应不均匀，导致材料损坏的技术问题。

为了实现上述目的，本发明提供了一种喷气面积增大的气相沉积炉，包括炉体，所述炉体的内腔设为沉积腔，所述沉积腔内设气体喷头导管，所述气体喷头导管与气体导管连通，所述气体导管置于所述炉体的外部，所述气体喷头导管上设有从各个角度向所述沉积腔喷射的若干个气体扩散喷头，所述气体扩散喷头与所述气体喷头导管导通。

根据一种可选实施方式，所述炉体包括可隔热的外壁和盖板，所述外壁设为顶端开口的腔体结构，所述盖板可拆卸地盖设于所述外壁的开口上，所述气体喷头导管置于所述外壁的内腔中。

根据一种可选实施方式，所述外壁的下方设有用于支撑所述外壁的底座，所述底座上设有向所述外壁的内腔延伸的固定立柱，所述固定立柱的自由端置于所述外壁的内腔中，用于固定待处理高温材料。

根据一种可选实施方式，所述气体喷头导管沿着所述外壁的内腔的内壁设置。

根据一种可选实施方式，还包括进气仓，所述气体导管设于所述进气仓与所述气体喷头导管之间，且与所述进气仓与所述气体喷头导管导通。

根据一种可选实施方式，所述气体导管穿过所述外壁连接所述气体喷头导管和所述进气仓。

根据一种可选实施方式，所述气体导管上设有气体加热器。

根据一种可选实施方式，所述进气仓上连接有若干个进气管。

根据一种可选实施方式，所述进气仓内设电动机和风扇，所述电动机置于所述进气仓的顶壁上，且与所述风扇驱动连接。

根据一种可选实施方式，所述气体扩散喷头呈圆锥状，且表面设有若干个喷射孔。

本发明提供的喷气面积增大的气相沉积炉，具有以下技术效果：