[发明专利]一种固晶机用气压式晶圆转运装置

权利要求书

1.一种固晶机用气压式晶圆转运装置，包括：

安装座(1)，其侧壁上固定安装有竖直设置的气缸(2)，所述气缸(2)的输出端固定连接在支撑架(3)的外壁上用于提供升降推力，且支撑架(3)顶部靠近安装座(1)的一侧固定安装有旋转电机(4)，并且旋转电机(4)的输出轴转动贯穿于所述支撑架(3)设置；

其特征在于，还包括：

传动轴(8)，其转动贯穿于所述支撑架(3)设置，所述传动轴(8)竖直设置在所述支撑架(3)远离旋转电机(4)的一侧，且传动轴(8)的顶部固定安装有第一链条轮机构(5)的一端，并且第一链条轮机构(5)的另一端固定安装在所述旋转电机(4)的输出轴上形成传动结构，而且第一链条轮机构(5)位于所述支撑架(3)的上方；

横梁(12)，其设置在所述支撑架(3)的下方，所述横梁(12)的上表面中心处固定连接有垂直设置的转轴(11)，且转轴(11)贯穿于所述支撑架(3)底部远离旋转电机(4)的一端形成转动限位结构，并且转轴(11)固定贯穿于第二链条轮机构(10)的一端设置，而且第二链条轮机构(10)的另一端固定贯通连接有所述传动轴(8)的底端形成动力传输结构，同时第二链条轮机构(10)贴合设置在所述支撑架(3)的底面上；

移动板(13)，其对称分布在所述横梁(12)的两侧，所述移动板(13)贴合设置在所述横梁(12)底部开设的滑槽内，所述移动板(13)和横梁(12)的两端底部均固定安装有垂直设置的气压筒(18)，且气压筒(18)的下端口处固定安装有同轴设置的吸嘴(19)，并且吸嘴(19)的底面贴合设置在对应晶圆本体(25)的盘面上形成吸附结构。

2.根据权利要求1所述的一种固晶机用气压式晶圆转运装置，其特征在于：所述安装座(1)的侧壁上固定安装有对称分布的竖直导轨(7)，且竖直导轨(7)上滑动安装有滑块(6)，并且两个滑块(6)固定安装在所述支撑架(3)的外壁上。

3.根据权利要求2所述的一种固晶机用气压式晶圆转运装置，其特征在于：所述滑块(6)内侧设置有长条状的凸块，且凸块嵌设在所述滑块(6)的侧壁上形成滑动限位结构。

4.根据权利要求1所述的一种固晶机用气压式晶圆转运装置，其特征在于：所述传动轴(8)的上下两端端面边缘处贴合设置有限位螺钉(9)，且限位螺钉(9)围绕传动轴(8)等角度分布形成限位结构，并且限位螺钉(9)螺纹连接在所述支撑架(3)上。

5.根据权利要求1所述的一种固晶机用气压式晶圆转运装置，其特征在于：所述移动板(13)的轴线与所述横梁(12)的轴线垂直设置，且移动板(13)位于所述晶圆本体(25)的上方，并且移动板(13)的顶部中心处垂直连接有紧固组件(14)，而且紧固组件(14)上螺纹安装的手轮紧贴在横梁(12)上表面形成定位结构。

6.根据权利要求5所述的一种固晶机用气压式晶圆转运装置，其特征在于：所述移动板(13)的底面中心处固定安装有四通管(15)，且四通管(15)的三个出气端口分别固定连通在对应的气压筒(18)上，并且四通管(15)的进气端口与输气管(16)的一端固定连通，而且输气管(16)的另一端固定连通在对应的电磁气阀(17)上，同时电磁气阀(17)固定连接在安装座(1)的顶部。

7.根据权利要求6所述的一种固晶机用气压式晶圆转运装置，其特征在于：所述气压筒(18)的顶部内壁上固定嵌设有外筒(22)，且外筒(22)的内壁底部贴合设置有塞体(21)，并且塞体(21)的上方同轴设置有开关(24)，而且开关(24)固定嵌设在所述外筒(22)的顶部。

8.根据权利要求7所述的一种固晶机用气压式晶圆转运装置，其特征在于：所述开关(24)的外壁上套设有弹簧(23)，且弹簧(23)固定连接在所述外筒(22)的内壁顶部和塞体(21)的上端面之间起到复位作用。

9.根据权利要求8所述的一种固晶机用气压式晶圆转运装置，其特征在于：所述塞体(21)的下端面处固定安装有同轴设置的受力杆(20)，且受力杆(20)的底端位于吸嘴(19)的端口内侧，并且受力杆(20)滑动贯穿于所述外筒(22)和气压筒(18)设置，而且吸嘴(19)由弹性橡胶材料构成。