[发明专利]一种提高PCB板曝光均匀性的方法有效
申请号: | 202210543997.X | 申请日: | 2022-05-18 |
公开(公告)号: | CN114706281B | 公开(公告)日: | 2023-09-19 |
发明(设计)人: | 吴鹏;何静安;龙能水;陈定康;盛从学;章恒 | 申请(专利权)人: | 圆周率半导体(南通)有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 南通苏专博欣知识产权代理事务所(普通合伙) 32574 | 代理人: | 施荣华 |
地址: | 226000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 提高 pcb 曝光 均匀 方法 | ||
1.一种提高PCB板曝光均匀性的方法,其特征在于,包括以下步骤:
获得PCB板的理论厚度值;
采用网格对PCB板进行划分,测量PCB板上每个网格的厚度;
计算每个网格的厚度值与所述理论厚度值的差值,将每个网格的所述差值按照从上到下从左到右顺序导入建模软件组建的数据模型,采用不同颜色进行直观显示;
根据颜色的种类制备对应数量的掩模版,所述掩膜版包括透光区域和不透光区域,每个掩膜版的透光区域分别与单种颜色对应的区域吻合;
在PCB板上全板贴合一层UV感光性干膜;
逐个采用所述掩模版对所述PCB板进行曝光,根据所述掩膜版对应的不同颜色调整曝光机的焦距,所述曝光机将透过所述透光区域的光投射到所述PCB板上进行图形转移。
2.根据权利要求1所述的一种提高PCB板曝光均匀性的方法,其特征在于,所述颜色包括浅蓝色、深蓝色、浅绿色、深绿色、黄色、浅橙色、深橙色、浅红色以及深红色。
3.根据权利要求2所述的一种提高PCB板曝光均匀性的方法,其特征在于,当所述差值大于等于-1mil且小于1mil时,采用浅蓝色显示;当所述差值大于等于1mil且小于3mil时,采用深蓝色显示;当所述差值大于等于3mil且小于5mil时,采用浅绿色显示;当所述差值大于等于5mil且小于7mil时,采用深绿色显示;当所述差值大于等于7mil且小于9mil时,采用黄色显示;当所述差值大于等于-3mil且小于-1mil时,采用浅橙色显示;当所述差值的绝对值大于等于-5mil且小于-3mil时,采用深橙色显示;当所述差值的绝对值大于等于-7mil且小于-5mil时,采用浅红色显示;当所述差值的绝对值大于等于-9mil且小于-7mil时,采用深红色显示。
4.根据权利要求3所述的一种提高PCB板曝光均匀性的方法,其特征在于,所述曝光机的焦距按照浅蓝色、深蓝色、浅绿色、深绿色以及黄色的次序,曝光焦距逐渐递减,所述曝光机的焦距按照浅蓝色、浅橙色、深橙色、浅红色以及深红色的次序,曝光焦距逐渐递增。
5.根据权利要求4所述的一种提高PCB板曝光均匀性的方法,其特征在于,所述曝光机的焦距按照浅蓝色、深蓝色、浅绿色、深绿色以及黄色的次序,曝光焦距以每次120nm逐渐递减,所述曝光机的焦距按照浅蓝色、浅橙色、深橙色、浅红色以及深红色的次序,曝光焦距以每次120nm逐渐递增。
6.根据权利要求1所述的一种提高PCB板曝光均匀性的方法,其特征在于,所述网格为长方形、正方形、三角形或圆形。
7.根据权利要求6所述的一种提高PCB板曝光均匀性的方法,其特征在于,所述网格为1*1mm或0.5*0.5mm的正方形。
8.根据权利要求1所述的一种提高PCB板曝光均匀性的方法,其特征在于,所述PCB板上每个网格的厚度通过激光测厚扫描仪测量获得。
9.根据权利要求1所述的一种提高PCB板曝光均匀性的方法,其特征在于,还包括显影步骤,所述显影步骤包括将曝光后的板件通过显影药水,使得未曝光的干膜通过反应去除,露出塞孔位置,剩余部分完全用干膜盖住。
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