[发明专利]曝光机、触控显示装置的制作方法及触控显示装置在审

专利信息
申请号: 202210545512.0 申请日: 2022-05-19
公开(公告)号: CN114967379A 公开(公告)日: 2022-08-30
发明(设计)人: 汪杰;杨莉 申请(专利权)人: 昆山龙腾光电股份有限公司
主分类号: G03F9/00 分类号: G03F9/00;G02F1/1333;G06F3/041
代理公司: 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 代理人: 刘芳春
地址: 215301 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 曝光 显示装置 制作方法
【权利要求书】:

1.一种曝光机,包括载台(2),其特征在于,所述载台(2)具有呈2×2阵列排布或2×3阵列排布的多个入镜区域(20);每个所述入镜区域(20)相对的两侧均设有一组CCD对位相机(211),在X方向上相邻的两个入镜区域(20)之间共设一组所述CCD对位相机(211);每组所述CCD对位相机(211)内包括1至3个所述CCD对位相机(211)。

2.一种曝光机,包括载台(2),其特征在于,所述载台(2)具有呈2×2阵列排布或2×3阵列排布的多个入镜区域(20);所述载台(2)上设有一组可移动的CCD对位相机(211),每组所述CCD对位相机(211)内包括1至3个所述CCD对位相机(211),所述载台(2)设有供所述CCD对位相机(211)移动的轨道以使所述CCD对位相机(211)依次移动至每个所述入镜区域(20)的两侧。

3.如权利要求1或2所述的曝光机,其特征在于,所述曝光机具有两个所述载台(2),其中一个所述载台(2)具有呈2×2阵列排布的四个入镜区域(20),另一个所述载台(2)具有呈2×3阵列排布的六个入镜区域(20)。

4.如权利要求1或2所述的曝光机,其特征在于,每个所述CCD对位相机(211)旁对应设有一个激光头(212)。

5.一种触控显示装置的制作方法,其特征在于,包括:

提供显示基板(1),所述显示基板(1)包括相对设置的阵列基板(11)和彩色滤光基板(12),所述阵列基板(11)远离所述彩色滤光基板(12)一侧设有多个定位标记(111),所述彩色滤光基板(12)远离所述阵列基板(11)一侧的表面设有金属膜层(13);

在所述金属膜层(13)上涂布光刻胶(14);

提供如权利要求1至4任一项所述的曝光机,将具有所述光刻胶(14)的所述显示基板(1)放置在所述曝光机的载台(2)上并使所述阵列基板(11)具有多个所述定位标记(111)的一侧面向所述载台(2);

利用所述CCD对位相机(211)识别多个所述定位标记(111)以对所述显示基板(1)进行定位;以及

在对所述显示基板(1)进行定位后,对所述彩色滤光基板(12)上的所述光刻胶(14)进行曝光。

6.如权利要求5所述的触控显示装置的制作方法,其特征在于,当在每个所述入镜区域(20)相对的两侧均设有一组所述CCD对位相机(211)时,利用所述CCD对位相机(211)识别多个所述定位标记(111)以对所述显示基板(1)进行定位的方法包括:利用每个所述入镜区域(20)两侧的两组所述CCD对位相机(211)识别位于该入镜区域(20)两侧的所述定位标记(111)。

7.如权利要求5所述的触控显示装置的制作方法,其特征在于,当所述CCD对位相机(211)为可移动时,利用所述CCD对位相机(211)识别多个所述定位标记(111)以对所述显示基板(1)进行定位的方法包括:移动所述CCD对位相机(211)依次识别位于每个所述入镜区域(20)两侧的所述定位标记(111)。

8.如权利要求5所述的触控显示装置的制作方法,其特征在于,所述载台(2)上还设有多个第一调整销(221)和多个第二调整销(222);多个所述第一调整销(221)分别设置在所述显示基板(1)沿X方向的两侧,多个所述第二调整销(222)分别设置在所述显示基板(1)沿Y方向的两侧。

9.如权利要求5所述的触控显示装置的制作方法,其特征在于,当在每个所述CCD对位相机(211)旁对应设有一个所述激光头(212)时;在所述阵列基板(11)上设置多个所述定位标记(111)的方法包括:

将所述阵列基板(11)放置在所述载台(2)上,利用所述激光头(212)在所述阵列基板(11)上打印出所述定位标记(111)。

10.一种触控显示装置,其特征在于,由如权利要求5至9任一项所述的触控显示装置的制作方法制作形成。

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