[发明专利]显示器件及其制备方法有效
申请号: | 202210549391.7 | 申请日: | 2022-05-20 |
公开(公告)号: | CN114665047B | 公开(公告)日: | 2022-09-23 |
发明(设计)人: | 庄永漳;仉旭 | 申请(专利权)人: | 镭昱光电科技(苏州)有限公司 |
主分类号: | H01L51/52 | 分类号: | H01L51/52;H01L27/32;H01L27/15;G02B3/00 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 215000 江苏省苏州市苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显示 器件 及其 制备 方法 | ||
1.显示器件的制备方法,其特征在于,包括:
提供显示装置,所述显示装置包括阵列排布的多个像素点(100),所述像素点(100)的尺寸为100纳米-10微米,相邻所述像素点的间距为1-10微米;
在所述像素点(100)上方覆设阻挡层(109),所述像素点(100)发出的光通过所述阻挡层(109);
在所述像素点(100)上方形成栅格层(110),所述阻挡层(109)位于所述像素点(100)与所述栅格层(110)之间,所述栅格层(110)包括阵列排布的多个栅格孔(111),所述栅格孔(111)相对于所述像素点(100)设置,且所述栅格孔(111)的底部暴露所述阻挡层(109),所述像素点(100)发出的光通过所述栅格孔(111)出射;
在所述栅格层(110)上形成反光层(112),通过干法刻蚀使所述反光层(112)至少覆盖所述栅格孔(111)的侧壁,且暴露出所述栅格孔(111)的底部,所述像素点(100)发出的光中至少部分光经过所述反光层(112)的反射;
在所述栅格层(110)上形成微透镜阵列(113),所述微透镜阵列(113)包括阵列排布的多个微透镜单元(114),所述微透镜单元(114)相对于所述栅格孔(111)设置,且所述微透镜单元(114)覆盖所述栅格孔(111)。
2.根据权利要求1所述的显示器件的制备方法,其特征在于,形成所述栅格层(110)包括:在所述像素点(100)上方形成栅格层涂层(110a),刻蚀所述栅格层涂层(110a)形成所述栅格孔(111)。
3.根据权利要求1所述的显示器件的制备方法,其特征在于,还包括:
在形成所述微透镜阵列(113)之前,在所述栅格层(110)上形成透明层(115),所述透明层(115)填充所述栅格孔(111),所述微透镜阵列(113)覆盖在所述透明层(115)上方。
4.根据权利要求1所述的显示器件的制备方法,其特征在于,所述微透镜单元(114)填充所述栅格孔(111)。
5.根据权利要求1所述的显示器件的制备方法,其特征在于,形成所述微透镜阵列(113)包括:
在所述栅格层(110)上形成微透镜材料层(113a),通过压印所述微透镜材料层(113a)形成所述微透镜阵列(113)。
6.根据权利要求1所述的显示器件的制备方法,其特征在于,形成所述微透镜阵列(113)包括:
在所述栅格层(110)上形成微透镜材料层(113a),并在所述微透镜材料层(113a)上形成前体层(116),通过刻蚀工艺将形成于所述前体层(116)上的微透镜图形(117)转印至所述微透镜材料层(113a),形成所述微透镜阵列(113)。
7.根据权利要求1所述的显示器件的制备方法,其特征在于,形成所述微透镜阵列(113)包括:
在所述栅格层(110)上形成微透镜材料层(113a),通过光刻、回流形成所述微透镜阵列(113)。
8.根据权利要求1所述的显示器件的制备方法,其特征在于,形成所述反光层(112)包括:
在所述栅格层(110)上形成反光材料层(112a);
通过干法刻蚀所述反光材料层(112a)形成所述反光层(112),所述反光层(112)仅覆盖所述栅格孔(111)的侧壁。
9.根据权利要求1所述的显示器件的制备方法,其特征在于,沿着远离所述像素点(100)的方向,所述栅格孔(111)的横截面尺寸逐渐变大使经过所述反光层(112)反射的光聚拢出射。
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