[发明专利]一种光学测量系统

权利要求书

1.一种光学测量系统，其特征在于，包括：

光源腔室，用于产生并处理光束，辐射出极紫外单色光；

光学测量腔室，用于测量待测光学器件的性能参数；

插板阀，用于分隔所述光源腔室和所述光学测量腔室。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述光源腔室具体为极紫外光源腔室，用于产生并处理光束，辐射出极紫外单色光。

3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述极紫外单色光辐射光源包括：

LPP、DPP、HHG、同步辐射源或自由电子激光光源及对应的聚焦、单色、准直光束处理元件。

4.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述光学测量腔室内具有归一化能量测试装置。

5.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述归一化能量测试装置包括：

透射光栅，用于对射入的光束发生多级衍射；

可调节光阑，用于阻挡零级光及特定级数以外的衍射光；

第二能量探测器，用于探测相应级数衍射光能量。

6.根据权利要求5所述的系统，其特征在于，所述可调节光阑上具有通光孔，用于通过调节所述通光孔的尺径以根据测试需要获得相应级数的衍射光；所述第二能量探测器，用于测量穿过所述通光孔的衍射光能量。

7.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述光学测量腔室中具有：

第一能量探测器，用于测量射入所述光学测量腔室中的测试光束的能量以及经待测光学器件透射后的透射光束的能量；

调节待测光学器件位置以及调节所述第一能量探测器位置的调节台。

8.根据权利要求1～7任一项中所述的系统，其特征在于，所述光源腔室以及所述光学测量腔室内均设置有：

抽气泵组以及真空计。