[发明专利]一种光学测量系统

说明书

本公开涉及一种光学测量系统，包括：光源腔室，用于产生并处理光束，辐射出极紫外单色光；光学测量腔室，用于测量待测光学器件的性能参数；插板阀，用于分隔所述光源腔室和所述光学测量腔室。所述光学测量腔室内具有测量光学器件性能参数的调节及探测部件以及归一化能量测试装置。所述归一化能量测试装置包括：透射光栅，用于对射入的光束发生多级衍射；可调节光阑，用于阻挡零级光及特定级数以外的衍射光；能量探测器，用于探测相应级数衍射光能量。

技术领域

本公开涉及光学测量技术领域，更为具体来说，本公开涉及一种光学测量系统。

背景技术

光刻技术的发展，尤其是现在已经用于量产的极紫外光刻技术，对极紫外光学元件如极紫外反射镜、极紫外探测器等的测量精度需求不断提高。在进行光学测量中，稳定的极紫外光源是最为理想的，但实际不管是放电等离子体(DPP)光源、激光产生等离子体(LPP)光源，还是大型装置如同步辐射源(SR)、自由电子激光光源(FEL)等，输出能量都会有波动，极紫外光源的能量稳定性会直接导致测量结果不确定度下降，所以在高精度的极紫外光学测量中，需要实时监测能量的变化趋势，以便对实验过程中能量的大小进行校正。对于可见光波段或者深紫外波段，可以通过半透半反的分光镜片进行分光，一束光Beam1用于变化监测，另一束Beam2光用于实验测量，监测到的Beam1的能量变化用于对测量光束Beam2能量进行归一化，从而降低光源波动对测量结果的影响。但对于极紫外波段而言，该波段几乎在所有物质都会被吸收，所以没有对应的半透半反分光镜可用，因此需要设计新的可实时监测能量的方法，以实现极紫外光学测量系统中的能量归一化。

发明内容

本公开为解决现有技术的提高光学测量系统的测试不确定度的技术问题。

为实现上述技术目的，本公开提供了一种光学测量系统，包括：

光源腔室，用于产生并处理光束，辐射出极紫外单色光；

光学测量腔室，用于测量待测光学器件的性能参数；

插板阀，用于分隔所述光源腔室和所述光学测量腔室。

进一步，所述光源腔室具体为极紫外光源腔室，用于产生并进行光束处理以辐射出极紫外单色光。

进一步，所述极紫外单色光辐射源包括：

LPP、DPP、HHG、同步辐射源或自由电子激光光源及对应的聚焦、单色、准直光束处理元件。

进一步，所述光学测量腔室内具有归一化能量测试装置。

进一步，所述归一化能量测试装置包括：

透射光栅，用于对射入的光束发生多级衍射；

可调节光阑，用于阻挡零级光及特定级数以外的衍射光；

第二能量探测器，用于探测相应级数衍射光能量。

进一步，所述可调节光阑上具有通光孔，用于通过调节所述通光孔的尺径以根据测试需要获得相应级数的衍射光；所述第二能量探测器，用于测量穿过所述通光孔的衍射光的能量。

进一步，所述光学测量腔室中具有：

第一能量探测器，用于测量射入所述光学测量腔室中的测试光束的能量以及经待测光学器件透射后的透射光束的能量；

调节待测光学器件位置以及调节所述第一能量探测器位置的调节台。

进一步，所述光源腔室以及所述光学测量腔室内均设置有：

抽气泵组以及真空计。

本公开的有益效果为：

本公开与现有技术相比具有：