[发明专利]化学镀Co-W镀膜和化学镀Co-W镀液在审

专利信息
申请号: 202210555723.2 申请日: 2022-05-19
公开(公告)号: CN115404469A 公开(公告)日: 2022-11-29
发明(设计)人: 井口昭司;板村旭朗;福井翔一;小田幸典;佐藤雅亮;伊井义人;大久保洋树 申请(专利权)人: 上村工业株式会社
主分类号: C23C18/50 分类号: C23C18/50;C23C18/48
代理公司: 北京润平知识产权代理有限公司 11283 代理人: 刘兵
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 化学 co 镀膜 镀液
【权利要求书】:

1.一种化学镀Co-W镀膜,其中,所述化学镀Co-W镀膜中的W含量为35~58质量%,且所述化学镀Co-W镀膜的膜厚为0.05μm以上。

2.根据权利要求1所述的化学镀Co-W镀膜,其中,所述化学镀Co-W镀膜为非晶质。

3.根据权利要求1或2所述的化学镀Co-W镀膜,其中,所述化学镀Co-W镀膜还含有B。

4.一种层叠镀膜,其为包含权利要求1~3中任意一项所述的化学镀Co-W镀膜的层叠镀膜,其中,该层叠镀膜包含Ni电镀膜或化学镀Ni-P镀膜。

5.根据权利要求4所述的层叠镀膜,其中,所述化学镀Ni-P镀膜中的P含量为10~13质量%。

6.根据权利要求4或5所述的层叠镀膜,其中,所述Ni电镀膜或所述化学镀Ni-P镀膜的膜厚为0.5-5μm。

7.一种镀覆基材,其与被镀覆物表面接触而形成有权利要求1~3中任意一项所述的化学镀Co-W镀膜。

8.一种镀覆基材,其为在被镀覆物上形成有权利要求4~6中任意一项所述的层叠镀膜的镀覆基材,

其中,所述化学镀Co-W镀膜与所述被镀覆物表面接触而形成,所述Ni电镀膜或化学镀Ni-P镀膜与所述化学镀Co-W镀膜表面接触而形成。

9.一种化学镀Co-W镀液,其为用于形成权利要求1~3中任意一项所述的化学镀Co-W镀膜的镀液,

其中,所述化学镀Co-W镀液含有:水溶性钴盐和水溶性钨盐;以及二烷基胺硼烷。

10.根据权利要求9所述的化学镀Co-W镀液,其中,所述化学镀Co-W镀液中的所述水溶性钴盐的浓度以Co换算为0.2g/L以上且5g/L以下;

所述化学镀Co-W镀液中的所述水溶性钨盐的浓度以W换算为1g/L以上且23g/L以下。

11.根据权利要求9或10所述的化学镀Co-W镀液,其中,所述化学镀Co-W镀液中的所述二烷基胺硼烷的浓度为1.7~8.4g/L。

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