[发明专利]一种用于晶圆生产的挑芯监测装置及其生产方法

权利要求书

1.一种用于晶圆生产的挑芯监测装置，其特征在于，包括：

工控机、与工控机电性相连的划痕检测机构、收集机构、转移机构、转动平台和取芯机构；其中

所述划痕检测机构活动设置在收集机构的上方，所述转移机构活动设置在收集机构与转动平台之间，所述取芯机构活动设置在转动平台的上方；

所述划痕检测机构检测放置于收集机构上晶圆是否存在划痕，即

当晶圆上存在划痕时，所述工控机控制收集机构收集该晶圆；

当晶圆合格时，所述工控机驱动转移机构将晶圆转移至转动平台上，并控制所述取芯机构朝向转动平台上晶圆移动，以从晶圆上相应区域取下芯片；以及

所述工控机控制转动平台及取芯机构按设定路径运动，以使所述取芯机构将转动平台上晶圆的各芯片逐个取下。

2.如权利要求1所述的用于晶圆生产的挑芯监测装置，其特征在于，

所述划痕检测机构包括：与工控机电性相连的图像采集模块；

所述图像采集模块吊装在收集机构的上方；

所述图像采集模块采集放置于收集机构上晶圆的图像信息，以发送至所述工控机，即

所述工控机根据相应图像信息判断晶圆是否存在划痕。

3.如权利要求2所述的用于晶圆生产的挑芯监测装置，其特征在于，

所述图像采集模块包括：若干CCD相机；

各所述CCD相机均与工控机电性相连，以采集晶圆的图像信息。

4.如权利要求1所述的用于晶圆生产的挑芯监测装置，其特征在于，

所述收集机构包括：收集盒、活动板、转动板、推板和驱动组件；

所述活动板通过驱动组件活动设置在收集盒内；

所述活动板上开设有安装孔，且所述转动板位于安装孔内且与活动板铰接；

所述推板纵向设置在收集盒内且位于转动板的下方；

所述活动板用于放置晶圆，当晶圆上存在划痕时，所述工控机控制驱动组件带动活动板向下运动，即

所述转动板在推板抵推下发生倾斜，以使所述活动板上晶圆滑落至收集盒内。

5.如权利要求4所述的用于晶圆生产的挑芯监测装置，其特征在于，

所述驱动组件包括：转动丝杆、丝杆电机和丝杆螺母；

所述丝杆电机的活动轴连接转动丝杆，所述活动板通过丝杆螺母与转动丝杆连接；

所述丝杆电机驱动转动丝杆转动，以带动所述丝杆螺母及活动板纵向移动。

6.如权利要求4所述的用于晶圆生产的挑芯监测装置，其特征在于，

所述转动板的两侧分别通过扭簧铰接在安装孔内。

7.如权利要求4所述的用于晶圆生产的挑芯监测装置，其特征在于，

所述转动板的顶面与安装孔形成放置槽，以用于放置晶圆。

8.如权利要求1所述的用于晶圆生产的挑芯监测装置，其特征在于，

所述转移机构包括：与工控机电性相连的转移机械手；

当晶圆合格时，所述工控机驱动转移机械手夹取放置于收集机构上的晶圆，以将晶圆转移至所述转动平台上相应工位处。