[发明专利]基于温差发电器件的真空度检测装置

权利要求书

1.一种基于温差发电器件的真空度测量装置，其包括，

真空腔体；

冷却部分，其支承于所述真空腔体内；

温差发电器件，其一端层叠于所述冷却部分上，所述温差发电器件包括多对热电臂，温差发电器件的热阻由热电臂热阻和间隙所填充的空气部分热阻并联构成，当温差发电器件所处位置的真空度改变；引起温差发电器件热阻改变以生成反映真空度的检测数据；

热阻块，其层叠于所述温差发电器件的另一端；

热源部分，其层叠且加热所述热阻块；

压力气缸，其施加压力于所述热源部分。

2.根据权利要求1所述的基于温差发电器件的真空度测量装置，其中，优选的，所述真空度测量装置连续测量1E5Pa至1E-2Pa范围内气压。

3.根据权利要求1所述的基于温差发电器件的真空度测量装置，其中，所述温差发电器件与热阻块串列布置形成整体。

4.根据权利要求1所述的基于温差发电器件的真空度测量装置，其中，所述热源部分为陶瓷加热片或柔性加热片。

5.根据权利要求1所述的基于温差发电器件的真空度测量装置，其中，述热阻块的材料包括氮化物、氧化物、环氧树脂或玻璃纤维。

6.根据权利要求5所述的基于温差发电器件的真空度测量装置，其中，所述热阻块设有连接第一温度测量装置的第一测量点，所述温差发电器件底部设有连接第二温度测量装置的第二测量点。

7.根据权利要求6所述的基于温差发电器件的真空度测量装置，其中，所述第一温度测量装置包括热电偶、铂电阻或热敏电阻，和/或第二温度测量装置包括热电偶、铂电阻或热敏电阻。

8.根据权利要求1所述的基于温差发电器件的真空度测量装置，其中，所述热源部分连接直流电源，所述温差发电器件连接数据采集设备。

9.根据权利要求1所述的基于温差发电器件的真空度测量装置，其中，所述热源部分经由紫铜片贴合所述热阻块，所述温差发电器件经由紫铜片贴合所述冷却部分。

10.根据权利要求1所述的基于温差发电器件的真空度测量装置，其中，所述冷却部分连接恒温水浴箱以构成循环冷却系统。