[发明专利]基于温差发电器件的真空度检测装置

说明书

本发明公开了一种基于温差发电器件的真空度测量装置，基于温差发电器件的真空度测量装置中，冷却部分支承于所述真空腔体内，温差发电器件一端层叠于所述冷却部分上，所述温差发电器件包括多对热电臂，当温差发电器件所处位置的真空度改变，引起温差发电器件热阻改变以生成反映真空度的检测数据，热阻块层叠于所述温差发电器件的另一端，热源部分层叠且加热所述热阻块，压力气缸施加压力于所述热源部分。

技术领域

本发明属于真空度在线检测技术领域，特别是一种基于温差发电器件的真空度测量装置。

背景技术

真空技术作为一种实用的基础技术，由于它提供了稀薄的气体氛围和清洁的环境条件，有利于除气、干燥、蒸发、灭弧等，获得了越来越广泛的应用。准确地测量气体的真空度对科学研究和工业生产意义重大。在航天领域中，需要进行真空测量范围涉及到卫星、运载火箭和载人飞船的环境检测及模拟试验、空间材料效应评价和危险气体泄漏监测等方面。在电子工业中，包括电子器件制造的各个工艺环节和试验过程，涉及材料提纯、薄膜制备、离子刻蚀与加工、密封和性能测试等方面都需要进行准确的真空测量。在电力设备的制造和使用过程中，对真空度的测量也关系到产品的质量和其应用寿命。此外，在核原料提纯、核电站安全监测、高能加速器、航空发动机试验和制造过程等领域也都有着十分广泛的应用。

目前，主要的真空测量方式包括电容薄膜计，热传导真空计，电离真空计等。电容薄膜计，其测量范围为1E5到1E-2Pa，具有测量准确的有点，其缺点为：薄膜的材料性能、结构尺寸直接影响表面压力引起的薄膜电容变化量，进而影响真空测量的范围和精度。热导型真空计重要的代表是热电偶计和皮拉尼计(电阻计)。测量范围为1E5到1E-2，具有制造容易、价格低廉的有点，缺点为测量结果与气体种类有关，易受污染，受环境影响大。电离真空计可以分为冷阴极电离和热阴极电离，测量范围为1E-1到1E-5，热阴极电离规具有测量准确稳定的有点，缺点为在(绝对)压强大于1E-1Pa时，容易氧化灯丝；冷阴极电离规具有灯丝不易氧化的优点，缺点为测量非连续性、低压力下放电延迟效应以及不稳定性。

在背景技术部分中公开的上述信息仅仅用于增强对本发明背景的理解，因此可能包含不构成在本国中本领域普通技术人员公知的现有技术的信息。

发明内容

针对现有技术中存在的问题，本发明提出一种真空度测量装置，测量范围广，结构简单，制作方便，工作寿命长。

本发明的目的是通过以下技术方案予以实现，一种基于温差发电器件的真空度测量装置包括：

真空腔体，

冷却部分，其支承于所述真空腔体内；

温差发电器件，其一端层叠于所述冷却部分上，所述温差发电器件包括多对热电臂，温差发电器件的热阻由热电臂热阻和间隙所填充的空气部分热阻并联构成，当温差发电器件所处位置的真空度改变，引起温差发电器件热阻改变以生成反映真空度的检测数据；

热阻块，其层叠于所述温差发电器件的另一端；

热源部分，其层叠且加热所述热阻块；

压力气缸，其施加压力于所述热源部分。

所述的基于温差发电器件的真空度测量装置中，所述真空度测量装置连续测量1E5Pa至1E-2Pa范围内气压。

所述的基于温差发电器件的真空度测量装置中，所述温差发电器件与热阻块串列布置形成整体。

所述的基于温差发电器件的真空度测量装置中，所述热源部分为陶瓷加热片或柔性加热片。

所述的基于温差发电器件的真空度测量装置中，述热阻块的材料包括氮化物、氧化物、环氧树脂或玻璃纤维。

所述的基于温差发电器件的真空度测量装置中，所述热阻块设有连接第一温度测量装置的第一测量点，所述温差发电器件底部设有连接第二温度测量装置的第二测量点。