[发明专利]一种测定酸性镀铜液中抑制剂浓度的方法

权利要求书

1.一种测定酸性镀铜液中抑制剂浓度的方法，其特征在于：包括以下步骤：

（1）基础镀液包含以下组分：铜离子、硫酸；

（2）绘制检测标准曲线：向基础镀液中加入不同浓度的抑制剂，采用电化学三电极分析方法进行伏安扫描，得到电流(I)-电位(U)伏安关系曲线；对该伏安曲线进行微分运算，得到微分电流与电位关系曲线，即dI/dU ~ U曲线(简称DIV)；绘制抑制剂浓度与DIV峰电位的关系标准曲线，并得到标准曲线拟合方程；

（3）样品检测：将稀释后的待测镀液加入到基础镀液中，进行伏安扫描，得到DIV峰电位，代入标准曲线拟合方程，计算得到待测镀液样品抑制剂浓度。

2.根据权利要求1所述的测定酸性镀铜液中抑制剂浓度的方法，其特征在于：伏安曲线的微分运算包括但不限于一阶导数、二阶导数。

3.根据权利要求1所述的测定酸性镀铜液中抑制剂浓度的方法，其特征在于：工作曲线的拟合方法包括但不限于线性拟合、Langmuir拟合。

4.根据权利要求1所述的测定酸性镀铜液中抑制剂浓度的方法，其特征在于：DIV峰电位包括但不限于微分电流最大值处电位、微分电流最小值处电位。

5.根据权利要求1所述的测定酸性镀铜液中抑制剂浓度的方法，其特征在于：三电极所用到的工作电极为旋转圆盘电极或者金属微电极，微电极直径范围为1μm-500μm，工作电极材料包括但不限于金、铂、铱、碳纤维、玻碳。

6.根据权利要求1所述的测定酸性镀铜液中抑制剂浓度的方法，其特征在于：电化学分析方法，包括但不限于线性伏安法、循环伏安剥离法、循环脉冲伏安剥离法、方波伏安法、差分脉冲伏安法。

7.根据权利要求1所述的测定酸性镀铜液中抑制剂浓度的方法，其特征在于：伏安扫描的扫速范围为0.01 V/s~5 V/s。