[发明专利]氟气中杂质含量分析方法

权利要求书

1.一种氟气中杂质含量分析方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1，将第一六通阀的a1阀门及b1阀门联通、f1阀门及e1阀门联通；并将第二六通阀的a2阀门及b2阀门联通、f2阀门及e2阀门联通；然后通过a1阀门进样待分析气体，所述待分析气体依次通过第一定量杯及第二定量杯定量；

S2，将第一六通阀的c1阀门及b1阀门联通、d1阀门及e1阀门联通，打开第一载气单元及第一反应气管道，将所述第一定量杯的待分析气体及第一反应气体通入第一反应炉中反应去除氟气，其中，所述第一反应气体为氢气；然后将第一产物气体顺序通过第一三氧化铝吸附柱、13X分子筛进行TCD检测器检测分析；检测分析后的气体经甲烷转化炉转化后在FID检测器进行检测；

S3，步骤S2结束后，将第一六通阀的a1阀门及b1阀门联通、f1阀门及e1阀门联通；然后将第二六通阀的c2阀门及b2阀门联通、d2阀门及e2阀门联通，打开第二载气单元及第二反应气管道，将所述第二定量杯的待分析气体及第一反应气体通入第二反应炉中反应去除氟气；然后将第二产物气体顺序通过第二三氧化铝吸附柱、Porapak Q柱后进行TCD检测器检测分析；检测分析后的气体经甲烷转化炉转化后在FID检测器进行检测。

2.如权利要求1所述的氟气中杂质含量分析方法，其特征在于，所述第一定量杯及所述第二定量杯的容量相同，其容量为1~5毫升。

3.如权利要求1所述的氟气中杂质含量分析方法，其特征在于，所述第一载气单元以及所述第二载气单元为He气载气单元。

4.如权利要求1所述的氟气中杂质含量分析方法，其特征在于，所述13X分子筛的长度为1.5米~4米，孔径为10A。

5.如权利要求1所述的氟气中杂质含量分析方法，其特征在于，所述Porapak Q柱的长度为3米~6米。

6.如权利要求1所述的氟气中杂质含量分析方法，其特征在于，所述待分析气体的流速为4-8ml/min。

7.如权利要求1所述的氟气中杂质含量分析方法，其特征在于，所述第一反应气体的流速为2-5ml/min。