[发明专利]一种超净高纯化学品全自动充装与供应系统及其控制方法

权利要求书

1.一种超净高纯化学品全自动充装与供应系统的控制方法，其特征在于：

所述系统包括柜体(1)及其内设置的控制箱(2)、多个原料罐(3)；所述控制箱(2)内设置有进出料阀组、吹扫阀组、压料阀组与真空发生器；所述进出料阀组包括多个一号气动阀(4)，多个化学品接口(5)通过多个一号气动阀(4)与多个液相连接接口(6)连通；所述吹扫阀组包括一号单向阀(7)、一号气动微漏阀(8)、二号气动阀(9)与三号气动阀(10)，吹扫气接口(11)依次经一号单向阀(7)、一号气动微漏阀(8)后与二号气动阀(9)的一端连通，二号气动阀(9)的另一端通过多个四号气动阀(12)与多个液相连接接口(6)连通，二号气动阀(9)的另一端通过多个五号气动阀(13)与多个气相连接接口(14)连通，真空泵接口(15)经三号气动阀(10)后分别与四号气动阀(12)、五号气动阀(13)连通；所述真空发生器的进气口与驱动气输入接口(16)连通，真空发生器的出气口与尾气排放接口(17)连通，真空发生器的吸气口与六号气动阀(18)的一端连通，六号气动阀(18)的另一端分别与四号气动阀(12)、五号气动阀(13)连通，六号气动阀(18)的另一端与二号气动阀(9)的另一端连通；所述压料阀组包括多个二号单向阀(19)与多个七号气动阀(20)，压料气接口(21)依次经二号单向阀(19)、七号气动阀(20)后分别与五号气动阀(13)、气相连接接口(14)连通，五号气动阀(13)与四号气动阀(12)连通；多个所述液相连接接口(6)通过多根液相连接管路(22)分别与多个原料罐(3)的液相接口连通，多个所述气相连接接口(14)通过多根气相连接管路(23)分别与多个原料罐(3)的气相接口连通；

所述控制方法包括以下步骤：

S1、先开启一号气动微漏阀(8)与二号气动阀(9)，将吹扫气充入系统管路，达到预设压力后关闭吹扫气，再开启真空发生器与六号气动阀(18)，抽出系统管路内气体，以使系统管路内成为负压，然后检测系统管路内压力，以此判断真空发生器功能是否正常；

S2、先开启二号气动阀(9)、四号气动阀(12)与五号气动阀(13)，再将吹扫气充入系统管路，此时，一号气动微漏阀(8)为关闭状态，该状态下会有微流量吹扫气流至液相连接接口(6)与气相连接接口(14)，然后将原料罐(3)的液相接口通过液相连接管路(22)连接至液相连接接口(6)，原料罐(3)的气相接口通过气相连接管路(23)连接至气相连接接口(14)；

S3、先开启一号气动微漏阀(8)、二号气动阀(9)、四号气动阀(12)与五号气动阀(13)，再将吹扫气充入系统管路，达到预设压力后关闭吹扫气，然后对液相连接管路(22)与气相连接管路(23)的气密性进行测试；

S4、当原料罐(3)需要进行吹扫置换时，先打开原料罐(3)气液相阀门，再开启一号气动微漏阀(8)、二号气动阀(9)、四号气动阀(12)与五号气动阀(13)，将吹扫气充入系统管路，达到预设压力后关闭吹扫气，然后开启三号气动阀(10)，抽出原料罐(3)内气体，达到预设真空压力后关闭三号气动阀(10)；

当原料罐(3)无需进行吹扫置换时，先开启一号气动微漏阀(8)、二号气动阀(9)、四号气动阀(12)与五号气动阀(13)，再将吹扫气充入系统管路，达到预设压力后关闭吹扫气，然后开启真空发生器与六号气动阀(18)，抽出系统管路内气体，达到预设真空压力后关闭真空发生器与六号气动阀(18)；

S5、打开原料罐(3)气液相阀门，并开启一号气动阀(4)与五号气动阀(13)，化学品进入原料罐(3)开始充装，当原料罐(3)内化学品重量达到预设值时，关闭一号气动阀(4)与五号气动阀(13)；

充装过程中，当原料罐(3)内压力上升超过预设值时，开启六号气动阀(18)，通过尾气排放接口(17)进行泄压；当原料罐(3)内压力降低至预设值时，关闭六号气动阀(18)；

S6、开启五号气动阀(13)与六号气动阀(18)，通过尾气排放接口(17)泄放原料罐(3)内压力，原料罐(3)内压力达到预设压力后关闭五号气动阀(13)与六号气动阀(18)；开启四号气动阀(12)、五号气动阀(13)与七号气动阀(20)，将气体充入系统管路，以将管路内液体压入原料罐(3)；

S7、检测原料罐(3)内压力，当原料罐(3)内压力低于预设值时，开启七号气动阀(20)进行充气；当原料罐(3)内压力高于预设值时，开启五号气动阀(13)与六号气动阀(18)，通过尾气排放接口(17)进行泄压；

S8、先关闭原料罐(3)气液相阀门，再开启真空发生器与六号气动阀(18)，抽出系统管路内气体，达到真空压力后关闭真空发生器与六号气动阀(18)，然后对液相连接管路(22)与气相连接管路(23)的气密性进行测试；

S9、开启一号气动微漏阀(8)、二号气动阀(9)、四号气动阀(12)与五号气动阀(13)，将吹扫气充入系统管路，达到预设压力后关闭吹扫气；开启真空发生器与六号气动阀(18)，抽出系统管路内气体，达到预设真空压力后关闭真空发生器与六号气动阀(18)；

S10、先开启二号气动阀(9)、四号气动阀(12)与五号气动阀(13)，再将吹扫气充入系统管路，此时，一号气动微漏阀(8)为关闭状态，该状态下会有微流量吹扫气流至液相连接接口(6)与气相连接接口(14)，然后拆除原料罐(3)。