[发明专利]一种超净高纯化学品全自动充装与供应系统及其控制方法

说明书

一种超净高纯化学品全自动充装与供应系统，包括控制箱与多个原料罐，控制箱内设置有进出料阀组、吹扫阀组、压料阀组与真空发生器，化学品接口通过一号气动阀与原料罐的液相接口连通，吹扫气接口依次经一号单向阀、一号气动微漏阀、二号气动阀后通过四号气动阀、五号气动阀分别与原料罐的液相接口、气相接口连通，真空泵接口经三号气动阀后分别与四号气动阀、五号气动阀连通，真空发生器经六号气动阀后分别与四号气动阀、五号气动阀连通，六号气动阀与二号气动阀连通，压料气接口依次经二号单向阀、七号气动阀后分别与五号气动阀、气相连接接口连通。本设计不仅适用范围广、可靠性高，而且自动化程度高。

技术领域

本发明涉及化学品充装与供应技术领域，尤其涉及一种超净高纯化学品全自动充装与供应系统及其控制方法，主要适用于提高适用范围、可靠性与自动化程度。

背景技术

超净高纯少量应用的电子级特殊化学品，比如GeCl4、TMA、TEOS等，达不到建站供应的需求量，一般采用原料周转罐进行不间断供料的供应模式，广泛应用于光纤、太阳能电池、半导体制造工艺中。由于以上化学品不仅有危化品的特点：易燃易爆、腐蚀、有毒，而且有超高纯洁净要求，所以对设备的制造有着极高的要求。超净高纯化学品充装装置，是将化学品生产企业产品线或储存容器内的合格产品，进行不同规格料罐的充装及转运销售，如50KG、250KG、1500KG等；超净高纯化学品供应装置，则是化学品应用企业将不同规格原料罐的原料，输送至工艺生产设备进行产品的生产制造。

现有化学品装置存在如下缺陷：首先，化学品装置功能单一，要么是化学品生产企业使用的只有充装功能的充装设备，要么是化学品应用企业使用的只有供应功能的供料设备，两种设备不能兼容替换；另外，化学品装置多为手动操作，自动化程度低、操作流程复杂繁琐，对人员专业素养要求极高，使得化学品装置适用范围窄、自动化程度低；其次，无法根据生产使用需求或工艺生产需求，同时对不同种类、不同规格的化学品进行输入或输出，使得化学品装置适用范围较窄；最后，对原料罐充装或化学品供应时，并未对原料罐连接管路内残留物进行吹扫，也未对充装或供应装置内部气密性进行检测，从而使得充装或供应装置的可靠性较低。

发明内容

本发明的目的是克服现有技术中存在的适用范围窄、可靠性低、自动化程度低的缺陷与问题，提供一种适用范围广、可靠性高、自动化程度高的超净高纯化学品全自动充装与供应系统及其控制方法。

为实现以上目的，本发明的技术解决方案是：一种超净高纯化学品全自动充装与供应系统，包括柜体及其内设置的控制箱、多个原料罐；

所述控制箱内设置有进出料阀组、吹扫阀组、压料阀组与真空发生器；

所述进出料阀组包括多个一号气动阀，多个化学品接口通过多个一号气动阀与多个液相连接接口连通；

所述吹扫阀组包括一号单向阀、一号气动微漏阀、二号气动阀与三号气动阀，吹扫气接口依次经一号单向阀、一号气动微漏阀后与二号气动阀的一端连通，二号气动阀的另一端通过多个四号气动阀与多个液相连接接口连通，二号气动阀的另一端通过多个五号气动阀与多个气相连接接口连通，真空泵接口经三号气动阀后分别与四号气动阀、五号气动阀连通；

所述真空发生器的进气口与驱动气输入接口连通，真空发生器的出气口与尾气排放接口连通，真空发生器的吸气口与六号气动阀的一端连通，六号气动阀的另一端分别与四号气动阀、五号气动阀连通，六号气动阀的另一端与二号气动阀的另一端连通；

所述压料阀组包括多个二号单向阀与多个七号气动阀，压料气接口依次经二号单向阀、七号气动阀后分别与五号气动阀、气相连接接口连通，五号气动阀与四号气动阀连通；

多个所述液相连接接口通过多根液相连接管路分别与多个原料罐的液相接口连通，多个所述气相连接接口通过多根气相连接管路分别与多个原料罐的气相接口连通。