[发明专利]一种真空镀膜反光产品及其制备工艺有效

专利信息
申请号: 202210571932.6 申请日: 2022-05-24
公开(公告)号: CN114737154B 公开(公告)日: 2023-06-23
发明(设计)人: 王建峰 申请(专利权)人: 深圳市嘉德真空光电有限公司
主分类号: C23C14/14 分类号: C23C14/14;C23C14/26;C23C14/50
代理公司: 北京广技专利代理事务所(特殊普通合伙) 11842 代理人: 安琪
地址: 518000 广东省深圳市光明新区光*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 真空镀膜 反光 产品 及其 制备 工艺
【权利要求书】:

1.一种真空镀膜反光产品制备工艺,其特征在于,包括以下步骤:

步骤1:将待镀膜产品(1)放入真空室(2)内,使用连接组件将待镀膜产品(1)固定在靶材本体(3)外部;

步骤2:启动旋转组件,旋转组件通过连接组件带动待镀膜产品(1)转动;

步骤3:启动靶材加热组件对靶材本体(3)加热,靶材本体(3)蒸发产生的金属气体沉积在待镀膜产品(1)表面形成反光膜(4);

在所述步骤1中,所述真空室(2)设置在真空镀膜机(5)内,所述真空镀膜机(5)外部设置真空泵(6),所述真空泵(6)输入端通过抽真空接管(7)与所述真空室(2)内部连通,将待镀膜产品(1)放置在真空室(2)内后,启动真空泵(6)对真空室(2)内进行抽真空,直至真空室(2)内的真空度到达预设真空度范围内时,关闭真空泵(6);

在所述步骤3中,所述靶材加热组件包括:

支架(8),所述支架(8)一端与所述真空室(2)左侧内壁固定连接;

底座(9),所述底座(9)一端与所述支架(8)远离所述真空室(2)内壁一端固定连接,所述靶材本体(3)放置在所述底座(9)上表面;

空腔(10),所述空腔(10)设置在所述底座(9)内部,所述空腔(10)内设置电热丝(11),所述电热丝(11)与空腔(10)上端内壁固定连接,所述电热丝(11)与外部电源电性连接;

挡板(12),所述挡板(12)设置有两个,两个所述挡板(12)对称设置在所述底座(9)上表面左右两端,所述挡板(12)上端相互靠近一侧设置为斜面;

所述真空室(2)内还设置升降组件,所述升降组件包括:

第一电机(14),所述第一电机(14)固定设置在所述真空室(2)底壁;

螺杆(15),所述螺杆(15)设置在所述第一电机(14)上端,所述螺杆(15)一端与所述第一电机(14)输出端固定连接,所述螺杆(15)另一端与所述真空室(2)上端内壁转动连接;

滑台(16),所述滑台(16)设置在所述螺杆(15)上,所述滑台(16)与所述螺杆(15)螺纹传动连接,所述滑台(16)右端与所述真空室(2)右侧内壁滑动连接,所述滑台(16)左端从右往左依次设置旋转组件与连接组件;

在所述步骤1中,所述连接组件包括:

连接管(17),所述连接管(17)设置为管状结构,所述连接管(17)左端设置开口,所述连接管(17)右端设置为封闭端,所述连接管(17)上下两端侧壁均设置通孔(18);

电动伸缩杆(19),所述电动伸缩杆(19)设置在所述连接管(17)内,所述电动伸缩杆(19)与外部电源电性连接,所述电动伸缩杆(19)一端与所述连接管(17)右端内壁固定连接,所述电动伸缩杆(19)另一端固定设置铰接座(20);

若干固定座(21),若干所述固定座(21)对称设置在所述连接管(17)上下两侧内壁,若干所述固定座(21)等间隔设置,所述固定座(21)与所述连接管(17)内壁固定连接;

第一转轴(22),所述第一转轴(22)设置在所述固定座(21)前端,所述第一转轴(22)后端与所述固定座(21)前侧壁转动连接;

转动盘(23),所述转动盘(23)固定设置在所述第一转轴(22)前端,相邻两个所述转动盘(23)之间设置第一连接杆(24),所述第一连接杆(24)两端分别与相邻两个所述转动盘(23)偏心位置铰接连接,且相邻两个第一连接杆(24)关于同一转动盘(23)圆心呈中心对称设置;

固定柱(25),所述固定柱(25)设置在所述转动盘(23)外周,所述固定柱(25)一端与所述转动盘(23)外周固定连接,所述固定柱(25)远离所述转动盘(23)一端设置滑动孔,所述滑动孔内滑动设置滑动柱(26),所述滑动柱(26)远离所述转动盘(23)一端设置电加热板(27);

第一弹簧(28),所述第一弹簧(28)设置在所述滑动孔内,所述第一弹簧(28)一端与所述滑动孔内壁固定连接,所述第一弹簧(28)另一端与所述滑动柱(26)远离所述电加热板(27)一端固定连接;

两个第二连接杆(29),两个所述第二连接杆(29)对称设置在所述铰接座(20)上下两端,所述第二连接杆(29)一端与所述铰接座(20)铰接连接;

第三连接杆(30),所述第三连接杆(30)设置在最右侧的所述固定柱(25)与所述第二连接杆(29)之间,所述第三连接杆(30)一端与所述第二连接杆(29)远离所述铰接座(20)一端铰接连接,所述第三连接杆(30)另一端与最右侧的所述固定柱(25)外壁固定连接。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市嘉德真空光电有限公司,未经深圳市嘉德真空光电有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202210571932.6/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top