[发明专利]一种真空镀膜反光产品及其制备工艺有效
申请号: | 202210571932.6 | 申请日: | 2022-05-24 |
公开(公告)号: | CN114737154B | 公开(公告)日: | 2023-06-23 |
发明(设计)人: | 王建峰 | 申请(专利权)人: | 深圳市嘉德真空光电有限公司 |
主分类号: | C23C14/14 | 分类号: | C23C14/14;C23C14/26;C23C14/50 |
代理公司: | 北京广技专利代理事务所(特殊普通合伙) 11842 | 代理人: | 安琪 |
地址: | 518000 广东省深圳市光明新区光*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 真空镀膜 反光 产品 及其 制备 工艺 | ||
1.一种真空镀膜反光产品制备工艺,其特征在于,包括以下步骤:
步骤1:将待镀膜产品(1)放入真空室(2)内,使用连接组件将待镀膜产品(1)固定在靶材本体(3)外部;
步骤2:启动旋转组件,旋转组件通过连接组件带动待镀膜产品(1)转动;
步骤3:启动靶材加热组件对靶材本体(3)加热,靶材本体(3)蒸发产生的金属气体沉积在待镀膜产品(1)表面形成反光膜(4);
在所述步骤1中,所述真空室(2)设置在真空镀膜机(5)内,所述真空镀膜机(5)外部设置真空泵(6),所述真空泵(6)输入端通过抽真空接管(7)与所述真空室(2)内部连通,将待镀膜产品(1)放置在真空室(2)内后,启动真空泵(6)对真空室(2)内进行抽真空,直至真空室(2)内的真空度到达预设真空度范围内时,关闭真空泵(6);
在所述步骤3中,所述靶材加热组件包括:
支架(8),所述支架(8)一端与所述真空室(2)左侧内壁固定连接;
底座(9),所述底座(9)一端与所述支架(8)远离所述真空室(2)内壁一端固定连接,所述靶材本体(3)放置在所述底座(9)上表面;
空腔(10),所述空腔(10)设置在所述底座(9)内部,所述空腔(10)内设置电热丝(11),所述电热丝(11)与空腔(10)上端内壁固定连接,所述电热丝(11)与外部电源电性连接;
挡板(12),所述挡板(12)设置有两个,两个所述挡板(12)对称设置在所述底座(9)上表面左右两端,所述挡板(12)上端相互靠近一侧设置为斜面;
所述真空室(2)内还设置升降组件,所述升降组件包括:
第一电机(14),所述第一电机(14)固定设置在所述真空室(2)底壁;
螺杆(15),所述螺杆(15)设置在所述第一电机(14)上端,所述螺杆(15)一端与所述第一电机(14)输出端固定连接,所述螺杆(15)另一端与所述真空室(2)上端内壁转动连接;
滑台(16),所述滑台(16)设置在所述螺杆(15)上,所述滑台(16)与所述螺杆(15)螺纹传动连接,所述滑台(16)右端与所述真空室(2)右侧内壁滑动连接,所述滑台(16)左端从右往左依次设置旋转组件与连接组件;
在所述步骤1中,所述连接组件包括:
连接管(17),所述连接管(17)设置为管状结构,所述连接管(17)左端设置开口,所述连接管(17)右端设置为封闭端,所述连接管(17)上下两端侧壁均设置通孔(18);
电动伸缩杆(19),所述电动伸缩杆(19)设置在所述连接管(17)内,所述电动伸缩杆(19)与外部电源电性连接,所述电动伸缩杆(19)一端与所述连接管(17)右端内壁固定连接,所述电动伸缩杆(19)另一端固定设置铰接座(20);
若干固定座(21),若干所述固定座(21)对称设置在所述连接管(17)上下两侧内壁,若干所述固定座(21)等间隔设置,所述固定座(21)与所述连接管(17)内壁固定连接;
第一转轴(22),所述第一转轴(22)设置在所述固定座(21)前端,所述第一转轴(22)后端与所述固定座(21)前侧壁转动连接;
转动盘(23),所述转动盘(23)固定设置在所述第一转轴(22)前端,相邻两个所述转动盘(23)之间设置第一连接杆(24),所述第一连接杆(24)两端分别与相邻两个所述转动盘(23)偏心位置铰接连接,且相邻两个第一连接杆(24)关于同一转动盘(23)圆心呈中心对称设置;
固定柱(25),所述固定柱(25)设置在所述转动盘(23)外周,所述固定柱(25)一端与所述转动盘(23)外周固定连接,所述固定柱(25)远离所述转动盘(23)一端设置滑动孔,所述滑动孔内滑动设置滑动柱(26),所述滑动柱(26)远离所述转动盘(23)一端设置电加热板(27);
第一弹簧(28),所述第一弹簧(28)设置在所述滑动孔内,所述第一弹簧(28)一端与所述滑动孔内壁固定连接,所述第一弹簧(28)另一端与所述滑动柱(26)远离所述电加热板(27)一端固定连接;
两个第二连接杆(29),两个所述第二连接杆(29)对称设置在所述铰接座(20)上下两端,所述第二连接杆(29)一端与所述铰接座(20)铰接连接;
第三连接杆(30),所述第三连接杆(30)设置在最右侧的所述固定柱(25)与所述第二连接杆(29)之间,所述第三连接杆(30)一端与所述第二连接杆(29)远离所述铰接座(20)一端铰接连接,所述第三连接杆(30)另一端与最右侧的所述固定柱(25)外壁固定连接。
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