[发明专利]一种分体式直拉单晶炉泄压方法

权利要求书

1.一种分体式直拉单晶炉泄压方法，其特征在于，所述方法包括：

通过连接件将泄压门与主炉腔体扣合锁紧，所述泄压门安装在分体式直拉单晶炉的所述主炉腔体上，可以活动打开，通过所述连接件与所述主炉腔体扣合锁紧后形成完整且密封的所述分体式直拉单晶炉；

所述分体式直拉单晶炉进行直拉法制备单晶；

当所述分体式直拉单晶炉中发生爆炸时，所述主炉腔体中的压力增高，所述泄压门受压力作用向外打开，高温气体流出，使得所述主炉腔体中的压力迅速降低。

2.根据权利要求1所述分体式直拉单晶炉泄压方法，其特征在于，所述泄压门的内表面积占所述主炉腔体总面积的1-50％。

3.根据权利要求1所述分体式直拉单晶炉泄压方法，其特征在于，所述泄压门的内表面积占所述主炉腔体总面积的40-50％。

4.根据权利要求1所述分体式直拉单晶炉泄压方法，其特征在于，所述泄压门的安装位置靠近所述分体式直拉单晶炉中的坩埚的安装位置。

5.根据权利要求1所述分体式直拉单晶炉泄压方法，其特征在于，所述泄压门受压力作用向外打开，高温气体流出，包括：

所述泄压门受压力作用向外打开，所述高温气体延泄压保护挡板引导的方向流出，避免所述高温气体迅速向人工操作区域扩散；

所述泄压保护挡板为L型，安装在所述主炉腔体上的所述泄压门开门侧，所述泄压保护挡板将所述泄压门前方的泄压区域与所述人工操作区域分隔开。

6.根据权利要求1所述分体式直拉单晶炉泄压方法，其特征在于，通过连接件将泄压门与主炉腔体扣合锁紧，包括：

将所述泄压门延密封圈扣合紧密，通过所述连接件将所述泄压门与所述主炉腔体锁紧，所述密封圈安装在所述泄压门门框处，用以封堵所述泄压门与所述主炉腔体之间的缝隙，使所述分体式直拉单晶炉具有良好的气密性。

7.根据权利要求6所述分体式直拉单晶炉泄压方法，其特征在于，通过所述连接件将所述泄压门与所述主炉腔体锁紧，包括：

通过锁扣将所述泄压门与所述主炉腔体扣合锁紧，所述连接件包括铰链合页和锁扣，所述铰链合页安装所述泄压门的固定侧，使所述泄压门固定在所述主炉腔体上，所述锁扣安装在所述泄压门的开门侧，使所述泄压门通过所述锁扣扣合锁紧。

8.根据权利要求1所述分体式直拉单晶炉泄压方法，其特征在于，所述方法还包括：

将所述泄压门扣合后，在所述分体式直拉单晶炉中的压强低于10000Pa的状态下，当安装于所述分体式直拉单晶炉中的压强感应器检测到所述分体式直拉单晶炉内压强的增长速度大于1000Pa/min时，发送关门异常报警，停止进行所述直拉法制备单晶。

9.根据权利要求1所述分体式直拉单晶炉泄压方法，其特征在于，所述泄压门的材质与厚度同所述主炉腔体的材质与厚度保持一致。