[发明专利]一种分体式直拉单晶炉泄压方法

说明书

本发明公开了一种分体式直拉单晶炉泄压方法，属于光伏技术领域。本发明提出的方法为：首先，利用连接件将泄压门与主炉腔体扣合锁紧；泄压门安装在分体式直拉单晶炉的主炉腔体上，通过连接件与主炉腔体扣合锁紧后形成完整且密封的分体式直拉单晶炉；然后，通过分体式直拉单晶炉进行直拉法制备单晶；之后，当分体式直拉单晶炉中发生爆炸时，主炉腔体中的压力增高，泄压门受压力作用向外打开，高温气体流出，使得主炉腔体中的压力迅速降低。本发明通过将完整的一体式直拉单晶炉腔更改为由泄压门和主炉腔体构成的分体式直拉单晶炉腔，当炉体发生爆炸，泄压门可以迅速打开泄压，从而避免了炉盖脱离炉体，炉中高温气流逸散，造成人员伤亡的问题。

技术领域

本发明涉及光伏技术领域，特别是一种分体式直拉单晶炉泄压方法。

背景技术

目前光伏行业内，单晶硅产业发展迅速。单晶硅是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿，常用于光伏与半导体行业制备硅片。硅片的制备首先需要实现由多晶硅到单晶硅的转变，主要是将多晶硅由固态加热转化为熔融态，再由熔融态硅重新结晶转化为单晶硅固态的过程。其主要制造设备：直拉单晶炉，为光伏行业产能的快速扩张提供了基础。然而，由于行业发展极为迅速，关于安全风险防范的措施相对缺乏，每年由于直拉单晶炉爆炸，导致的人员伤亡事故层出不穷。

在现有的直拉单晶炉结构中，通常都设有防爆装置，但防爆效果普遍较差，不能完全达到泄压防爆的目的，在实际生产中，炉体爆炸的案例依旧很多。而炉体爆炸时，炉体内压力急剧增加，会导致炉盖与炉体脱迅速脱离，大量高温物质从炉体中以极高速度爆发出来，从而造成人员伤亡。

因此，在光伏与半导体硅片生产技术领域十分有必要开发一种分体式直拉单晶炉泄压方法，以解决直拉法制单晶硅过程中炉体爆炸导致严重的人员伤亡的问题。

发明内容

本发明主要目的在于，提供一种分体式直拉单晶炉泄压方法，以解决直拉法制单晶硅过程中炉体爆炸导致严重的人员伤亡的问题。

本发明是通过如下技术方案实现的：

本发明实施例的第一方面公开了一种分体式直拉单晶炉泄压方法，所述方法包括：

通过连接件将泄压门与主炉腔体扣合锁紧，所述泄压门安装在分体式直拉单晶炉的所述主炉腔体上，可以活动打开，通过所述连接件与所述主炉腔体扣合锁紧后形成完整且密封的所述分体式直拉单晶炉；

所述分体式直拉单晶炉进行直拉法制备单晶；

当所述分体式直拉单晶炉中发生爆炸时，所述主炉腔体中的压力增高，所述泄压门受压力作用向外打开，高温气体流出，使得所述主炉腔体中的压力迅速降低。

优选地，所述泄压门的内表面积占所述主炉腔体总面积的1-50％。

优选地，所述泄压门的内表面积占所述主炉腔体总面积的40-50％。

优选地，所述泄压门的安装位置靠近所述分体式直拉单晶炉中的坩埚的安装位置。

优选地，所述泄压门受压力作用向外打开，高温气体流出，包括：

所述泄压门受压力作用向外打开，所述高温气体延泄压保护挡板引导的方向流出，避免所述高温气体迅速向人工操作区域扩散；

所述泄压保护挡板为L型，安装在所述主炉腔体上的所述泄压门开门侧，所述泄压保护挡板将所述泄压门前方的泄压区域与所述人工操作区域分隔开。

优选地，通过连接件将泄压门与主炉腔体扣合锁紧，包括：

将所述泄压门延密封圈扣合紧密，通过所述连接件将所述泄压门与所述主炉腔体锁紧，所述密封圈安装在所述泄压门门框处，用以封堵所述泄压门与所述主炉腔体之间的缝隙，使所述分体式直拉单晶炉具有良好的气密性。

优选地，通过所述连接件将所述泄压门与所述主炉腔体锁紧，包括：