[发明专利]一种用于电弧激发的磁性密封旋转装置

权利要求书

1.一种用于电弧激发的磁性密封旋转装置，其特征在于：包括多弧离子镀装置主体、磁流体密封装置和旋转引弧装置，所述旋转引弧装置与多弧离子镀装置主体通过磁流体密封装置密封转动连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于电弧激发的磁性密封旋转装置，其特征在于：所述的多弧离子镀装置主体包括装置外壳、靶弧源和样品固定组件，所述样品固定组件转动连接于所述装置外壳内部，所述磁流体密封装置连接于所述装置外壳上，所述旋转引弧装置与装置外壳转动连接，所述靶弧源设置于装置外壳内部，所述靶弧源上连接有弧源电源，所述靶弧源与旋转引弧装置相邻设置。

3.根据权利要求2所述的一种用于电弧激发的磁性密封旋转装置，其特征在于：所述的磁流体密封装置外侧与装置外壳固连，所述磁流体密封装置内部设有轴承，所述旋转引弧装置包括旋转气缸和引弧部分，所述旋转气缸的旋转轴上设有驱动杆，所述旋转气缸设置于装置外壳外侧，所述驱动杆另一端穿过所述轴承内圈设置于装置外壳内侧，所述引弧部分与设置于装置外壳内部的驱动杆一端相连，所述引弧部分用于接触靶弧源引弧。

4.根据权利要求3所述的一种用于电弧激发的磁性密封旋转装置，其特征在于：所述的引弧部分包括引弧杆，所述引弧杆垂直于所述驱动杆的轴心方向，所述引弧杆一端与驱动杆固连，所述引弧杆另一端与靶弧源接触连接。

5.根据权利要求3所述的一种用于电弧激发的磁性密封旋转装置，其特征在于：设置于装置外壳内部的驱动杆一端固定有驱动齿轮，所述引弧部分包括连接轴和引弧杆，所述连接轴平行于所述驱动杆设置，所述连接轴一端与所述装置外壳内壁转动连接，所述连接轴上连接有从动齿轮，所述驱动齿轮与从动齿轮啮合连接，所述引弧杆连接于所述连接轴远离装置外壳内壁的一侧，所述引弧杆的长度方向一端垂直连接于所述驱动杆的轴心方向设置，所述引弧杆另一端与靶弧源接触连接，所述从动齿轮直径小于驱动齿轮直径。

6.根据权利要求5所述的一种用于电弧激发的磁性密封旋转装置，其特征在于：所述装置外壳外侧面设有气密室，所述驱动杆与气密室转动连接。

7.根据权利要求3所述的一种用于电弧激发的磁性密封旋转装置，其特征在于：所述的引弧部分外侧连接有驱动齿轮，所述引弧部分包括连接轴和引弧杆，所述连接轴上设有从动齿轮，所述驱动齿轮与从动齿轮啮合连接，所述引弧杆一端与连接轴固连，所述引弧杆另一端与靶弧源接触连接，所述连接轴一端与装置外壳内侧面转动连接，所连接轴另一端设有圆柱形配重块，所述圆柱形配重块与连接轴同轴心设置，所述从动齿轮直径小于驱动齿轮直径。

8.根据权利要求7所述的一种用于电弧激发的磁性密封旋转装置，其特征在于：所述的驱动齿轮的轴心位置设有连接孔，所述连接孔内侧圆周面上均匀设有若干个卡槽，所述驱动杆内部设有调节组件，所述调节组件包括卡接部分和调节部分，所述卡接部分与卡槽卡接，所述卡接部分与调节部分滑动连接。

9.根据权利要求8所述的一种用于电弧激发的磁性密封旋转装置，其特征在于：所述的卡接部分包括卡块和调节滑块，所述卡块上侧与卡槽可拆卸的连接，所述卡块内部设有沿卡块长度方向设置的调节槽，所述调节槽倾斜设置，所述调节滑块顶部设有连接杆，所述连接杆上端与所述调节槽滑动连接；

调节部分包括调节通道、气滑环和通气装置，所述调节通道沿驱动杆的轴心方向设置，所述气滑环与设置于装置外壳外侧的驱动杆转动连接，所述通气装置与气滑环相连，所述通气装置用于给调节通道内部通气，所述调节通道远离气滑环的一侧设有带气孔的限位板，所述调节滑块设置于限位板与装置外壳之间，所述调节通道远离装置外壳的一端连接有排气管，所述排气管设置于驱动杆内部，所述排气管另一端设置于装置外壳外侧，所述调节通道通过排气管与外部贯通连接。

10.根据权利要求9所述的一种用于电弧激发的磁性密封旋转装置，其特征在于：所述的调节滑块的高度与连接杆的高度之和等于调节槽下端与调节通道上侧面之间的距离相等，所述调节槽上端与调节槽下端的高度差大于所述调节槽上端与调节滑块顶部的距离。