[发明专利]成膜装置以及电子设备的制造方法

说明书

本发明提供一种成膜装置，用于经由掩模在基板上进行成膜，其中，包括静电吸盘以及电压施加部，所述静电吸盘具有施加用于吸附基板的电压的电极部，所述电压施加部向所述电极部施加所述电压，在使所述静电吸盘吸附基板时，所述电压施加部向所述电极部施加第一电压，在所述静电吸盘吸附基板之后，在对被吸附的基板开始进行基于蒸镀的成膜之前，所述电压施加部向所述电极部施加比所述第一电压低的第二电压，在对被吸附的基板的成膜结束之后，所述电压施加部向所述电极部施加用于从所述静电吸盘剥离基板的第三电压。

本申请是名称为“成膜装置、成膜方法以及有机EL显示装置的制造方法”、申请日为2018年08月31日、申请号为201811006629.1的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及成膜装置，尤其是涉及在成膜装置中在向静电吸盘施加电压、吸附基板之后，用于使基板从静电吸盘容易装卸的电压控制。

背景技术

最近，作为平板显示装置，有机EL显示装置倍受瞩目。有机EL显示装置是自发光显示器，其响应速度、视角、薄型化等特性比液晶面板显示器优异，在监视器、电视、以智能手机为代表的各种便携终端等领域正在快速地代替现有的液晶面板显示器。另外，在汽车用显示器等方面也在扩大其应用领域。

有机EL显示装置的元件具有在两个相向的电极(阴极电极、阳极电极)之间形成有引起发光的有机物质层这样的基本构造。有机EL显示装置元件的有机物质层以及电极层，通过经由形成有像素图案的掩模将蒸镀材料向置于真空腔室上部的基板(的下表面)蒸镀而形成，所述蒸镀材料通过加热设置于成膜装置的真空腔室的下部的蒸镀源而被蒸发出来。

在这样向上蒸镀方式的成膜装置的真空腔室内，基板由基板支架进行保持，为了不对形成于基板(的下表面)的有机物质层/电极层造成损伤，利用基板支架的支承部支承基板的下表面周缘。在这种情况下，随着基板的尺寸增大，没有由基板支架的支承部支承的基板的中央部，因基板的自重而发生挠曲，成为降低蒸镀精度的主要原因。

作为减少因基板的自重而引起的挠曲的方法，研究了使用静电吸盘的技术。即，在基板的上部设置静电吸盘，使静电吸盘吸附由基板支架的支承部支承的基板的上表面，利用静电吸盘的静电引力牵拉基板的中央部，由此能够减少基板的挠曲。

发明内容

要解决的课题

但是，在通过静电吸盘与基板之间的静电引力将基板吸附到静电吸盘之后，在从静电吸盘分离基板时，到由在吸附基板时施加的电压感应的电荷放电为止需要花费时间，存在从静电吸盘分离基板花费时间的问题。若从静电吸盘分离基板花费时间，则存在工序整体的时间(Tact)增加，生产性降低的问题。

本发明的主要目的是提供一种静电吸盘的电压控制方法，该静电吸盘的电压控制方法用于减少分离被静电吸盘吸附的基板所花的时间。

解决课题的手段

本发明的一个方案的成膜装置，用于经由掩模在基板上进行成膜，其特征在于，包括基板保持单元以及静电吸盘，所述基板保持单元包括用于支承基板的周缘部的支承部；所述静电吸盘设置于所述支承部的上方，用于吸附基板，所述静电吸盘包括产生电压的电源部、施加所述电压的电极部以及用于控制向所述电极部施加的所述电压的电压控制部，所述电压控制部，在使所述静电吸盘吸附基板时以作为所述电压向所述电极部施加第一电压的方式进行控制，在所述静电吸盘吸附基板之后，在开始蒸镀工序之前，以作为所述电压向所述电极部施加比所述第一电压低的第二电压的方式进行控制。