[发明专利]一种晶圆表面缺陷检测的智能出料设备

权利要求书

1.一种晶圆表面缺陷检测的智能出料设备，其特征在于：包括机座和设置在机座上的晶圆抓取机构、良品移送机构、次品移送机构、料箱输送机构、装箱机构、隔板移送机构及贴标机构；

所述晶圆抓取机构用于从检测设备上抓取已测晶圆放置于所述良品移送机构或次品移送机构；

所述良品移送机构用于输送已测良品晶圆；

所述次品移送机构用于输送已测次品晶圆；

所述料箱输送机构用于输送料箱；

所述装箱机构用于从所述良品移送机构上抓取已测良品晶圆放置到料箱内；

所述隔板移送机构用于抓取隔板放置到料箱中分隔已测良品晶圆；

所述贴标机构用于在料箱上贴附标签。

2.如权利要求1所述的一种晶圆表面缺陷检测的智能出料设备，其特征在于：所述晶圆抓取机构包括移送模组、横移架、抓取升降模组及晶圆抓取头，所述移动模组设置在机座上驱动所述横移架沿水平横向移动，所述抓取升降模组固设在所述横移架上驱动所述晶圆抓取头沿竖直方向升降，所述晶圆抓取头用于从检测设备上抓取已测晶圆放置于所述良品移送机构或次品移送机构上。

3.如权利要求1所述的一种晶圆表面缺陷检测的智能出料设备，其特征在于：所述良品晶圆移送机构包括良品移送台和良品移送模组，所述良品移送模组用于驱动所述良品移送台在若干组所述晶圆抓取机构的末端下方之间移动。

4.如权利要求3所述的一种晶圆表面缺陷检测的智能出料设备，其特征在于：所述次品晶圆移送机构设置在所述良品移送台的下方，其包括移动滑轨、安装基架、皮带驱动辊、传送皮带、驱动电机及防掉板，所述移动滑轨固设在所述机座上，所述安装基架的底侧设有滑动卡设在所述移动滑轨上的滑动底座，所述安装基架的两端分别设有一所述皮带驱动辊用于配合带动所述传送皮带传送，所述驱动电机的输出轴与其中一组所述皮带驱动辊连接，所述防掉板固设在所述传送皮带的上下层之间，所述防掉板上沿皮带传送方向间隔设有若干晶圆传感器用于监测传送皮带上是否放置有晶圆，所述安装基架的一端还设有拉手。

5.如权利要求1所述的一种晶圆表面缺陷检测的智能出料设备，其特征在于：所述料箱输送机构包括第一料箱输送辊组、第二料箱输送辊组、第三料箱输送辊组及料箱升降模组，所述第一料箱输送辊组和第二料箱输送辊组上下相邻设置分别用于输送料箱和空箱，且输送方向相反，所述料箱升降模组驱动所述第三料箱输送辊组沿竖直方向升降用于衔接所述第一料箱输送辊组或第二料箱输送辊组，所述第三料箱输送辊组两侧设有料箱导向板，所述第三料箱输送辊组上方设有料箱定位相机用于获取料箱的位置信息。

6.如权利要求1所述的一种晶圆表面缺陷检测的智能出料设备，其特征在于：所述装箱机构包括机械手臂、良品晶圆抓取头及晶圆定位相机，所述良品抓取头用于抓取良品移送台上的良品晶圆，并通过所述机械手臂带动至所述料箱输送机构上的料箱内放置，所述晶圆定位相机设置在所述良品移送台上方用于获取良品晶圆的位置信息。

7.如权利要求1所述的一种晶圆表面缺陷检测的智能出料设备，其特征在于：所述隔板移送机构包括隔板输送台、输送台升降模组、隔板抓取头、隔板抓取升降模组、隔板移送架及隔板移送模组，所述第三料箱输送辊组的两侧分别设有一所述输送台升降模组，所述输送台升降模组用于驱动所述隔板输送台沿竖直方向升降，所述隔板输送台用于放置隔板，所述隔板移送模组驱动所述隔板移送架在所述第三料箱输送辊组和隔板输送台的上方之间移动，所述隔板抓取升降模组固设在所述隔板移送架上驱动所述隔板抓取头沿竖直方向升降，所述隔板抓取头用于抓取隔板。

8.如权利要求1所述的一种晶圆表面缺陷检测的智能出料设备，其特征在于：所述贴标机构包括标签打印机、标签中转组件、标签移送组件及标签读码相机；

所述标签中转组件包括双轴驱动模组和标签中转台，所述双轴驱动模组用于驱动所述标签中转台在水平XY双轴方向上移动，所述标签打印机打印标签放置于所述标签中转台，所述标签读码相机设置在所述标签中转台的上方用于获取标签的产品信息；

所述标签移送组件用于抓取所述标签中转台上方的料箱标签并移送至料箱输送机构进行贴标，所述标签移送组件包括三轴驱动模组、贴标基架、贴标旋转轴、贴标旋转电机及标签吸取头，所述三轴驱动模组用于驱动所述贴标基架在空间XYZ三轴方向上移动，所述贴标基架上设有贴标旋转轴承，所述贴标旋转轴转动设置在所述贴标旋转轴承上，且其通过贴标旋转电机驱动，所述贴标吸取头固定连接在所述贴标旋转轴上用于吸取标签。