[发明专利]体声波滤波器、通信器件及体声波滤波器的制备方法

权利要求书

1.一种体声波滤波器，其特征在于，包括：

第一衬底；

位于所述第一衬底上的沿水平方向相邻设置的第一体声波谐振器和第二体声波谐振器，所述第一体声波谐振器和第二体声波谐振器包括底电极、压电层和顶电极的叠层结构；

所述第一体声波谐振器和所述第二体声波谐振器在水平面的正投影无交叠；

所述第一体声波谐振器和所述第二体声波谐振器的电极在竖直平面的正投影无交叠，所述电极包括底电极和顶电极中的至少一个；

所述第一体声波谐振器和所述第二体声波谐振器位于所述第一衬底的同一表面。

2.根据权利要求1所述的体声波滤波器，其特征在于，所述第二体声波谐振器位于第一衬底上；

所述第一体声波谐振器位于第一衬底上的第一容纳凹槽。

3.根据权利要求1所述的体声波滤波器，其特征在于，所述第一体声波谐振器位于第一衬底上的第二容纳凹槽；

所述第二体声波谐振器位于第一衬底上的第三容纳凹槽；

所述第三容纳凹槽的深度小于所述第二容纳凹槽的深度。

4.根据权利要求1-3任一所述的体声波滤波器，其特征在于，所述第一体声波谐振器的顶电极的上表面低于所述第二体声波谐振器的底电极的下表面。

5.根据权利要求1-3任一所述的体声波滤波器，其特征在于，所述第一体声波谐振器的压电层和所述第二体声波谐振器的底电极在竖直平面的正投影有交叠；

所述第一体声波谐振器的顶电极和所述第二体声波谐振器的压电层在竖直平面的正投影有交叠；

所述第二体声波谐振器的顶电极与所述第一体声波谐振器的顶电极在竖直平面的正投影无交叠；

所述第二体声波谐振器的底电极与所述第一体声波谐振器的底电极和顶电极在竖直平面的正投影无交叠。

6.根据权利要求1所述的体声波滤波器，其特征在于，还包括与所述第一衬底堆叠设置的第二衬底，所述第二衬底远离所述第一衬底的表面设置有第三体声波谐振器。

7.根据权利要求1所述的体声波滤波器，其特征在于，还包括与所述第一衬底堆叠设置的第三衬底，所述第三衬底靠近所述第一衬底的表面设置有第四体声波谐振器。

8.根据权利要求7所述的体声波滤波器，其特征在于，所述第一体声波谐振器与所述第四体声波谐振器在水平面的正投影重合。

9.根据权利要求7所述的体声波滤波器，其特征在于，所述第三衬底靠近所述第一衬底的表面设有与所述第四体声波谐振器沿水平面相邻设置的第五体声波谐振器，所述第五体声波谐振器和所述第四体声波谐振器在水平面的正投影无交叠；所述第四体声波谐振器和所述第五体声波谐振器的电极在竖直平面的正投影无交叠，所述电极包括底电极和顶电极中的至少一个。

10.根据权利要求9所述的体声波滤波器，其特征在于，所述第一体声波谐振器与所述第四体声波谐振器在水平面的正投影重合，所述第二体声波谐振器与所述第五体声波谐振器在水平面的正投影重合。

11.根据权利要求8所述的体声波滤波器，其特征在于，所述第一衬底与第三衬底之间的距离大于位于衬底上的任意一个体声波谐振器的高度，小于水平面的正投影重合的两个体声波谐振器的高度之和。

12.根据权利要求7所述的体声波滤波器，其特征在于，位于不同衬底且水平方向相邻设置的体声波谐振器的电极在竖直平面的正投影无交叠，所述电极包括底电极和顶电极中的至少一个。

13.根据权利要求1所述的体声波滤波器，其特征在于，还包括电磁屏蔽层，所述电磁屏蔽层位于所述第一体声波谐振器和所述第二体声波谐振器之间。