[发明专利]电镀夹具

权利要求书

1.一种电镀夹具，其特征在于，包括密封导电机构和承载导电机构；

所述承载导电机构包括承载组件，所述承载组件形成有与晶圆相适配的晶圆定位槽；

所述密封导电机构包括第一密封组件、压接组件和环形导电弹片，所述环形导电弹片环绕所述晶圆定位槽设置，且所述环形导电弹片的内圈伸入所述晶圆定位槽内并相对于所述晶圆定位槽悬空，所述压接组件压设于所述环形导电弹片上且开设有对应于所述晶圆定位槽的通孔；

所述第一密封组件至少包括对应所述通孔的边缘设置于压接组件的第一密封构件；

所述压接组件与所述承载组件可拆卸连接，以使得所述第一密封构件压紧于所述环形导电弹片与所述晶圆之间。

2.根据权利要求1所述的电镀夹具，其特征在于，所述密封导电机构还包括多个紧固连接件以及多个弹性压柱；

所述环形导电弹片包括内环部和外环部，所述外环部的内圈与所述内环部的外圈相连接，所述外环部通过多个所述紧固连接件与所述承载组件相连接，多个所述弹性压柱的一端与所述压接组件相连接，多个所述弹性压柱的另一端与所述内环部相抵接，以使所述内环部相对于所述外环部朝向所述晶圆定位槽的槽底弯折。

3.根据权利要求2所述的电镀夹具，其特征在于，所述承载导电机构还包括第二密封组件和导电组件；

所述导电组件穿设于所述承载组件，所述导电组件的一端相对于所述承载组件外露，所述导电组件的另一端与所述环形导电弹片相电连接；

所述第二密封组件设置于所述导电组件与所述承载组件的连接间隙处。

4.根据权利要求3所述的电镀夹具，其特征在于，所述承载组件包括呈圆柱状的承载主体以及锁紧销，所述锁紧销设置于所述承载主体的外周侧壁；

所述压接组件包括呈圆筒状的连接套筒和开设有所述通孔的压盖部，所述压盖部连接于所述连接套筒的顶端开口，所述连接套筒的内周侧壁开设有锁紧滑槽，所述锁紧滑槽所述锁紧滑槽的第一端豁通所述连接套筒的远离所述压盖部的一端，所述锁紧滑槽的第二端沿所述连接套筒的周向朝向所述压盖部单向倾斜；

在所述锁紧销经由所述锁紧滑槽的第一端滑入所述锁紧滑槽，通过相对旋动所述承载组件和所述连接套筒，能够使所述连接套筒与所述承载主体锁紧并使得所述压盖部压紧所述承载组件的顶部。

5.根据权利要求4所述的电镀夹具，其特征在于，还包括设置于所述承载主体的导向销，所述连接套筒的内周侧壁开设有与所述导向销相适配的导向槽；

当所述导向销与所述导向槽对准时，所述锁紧销与所述锁紧滑槽的第一端对准。

6.根据权利要求5所述的电镀夹具，其特征在于，所述承载主体包括顺次叠置的锁紧环、承载盘和卡盘；

所述锁紧销设置于所述锁紧环的外周侧壁，所述卡盘背离于所述承载盘的表面形成所述承载主体的顶部，所述导向销设置于所述卡盘的外周侧壁。

7.根据权利要求6所述的电镀夹具，其特征在于，所述导电组件包括导电连接块、导电片和导电柱；

所述承载盘设置有安装圈和定位圈，所述定位圈间隔套设于所述安装圈的外侧，所述承载盘开设有与所述安装圈的中空部分贯通的接电孔，所述导电连接块设置于所述安装圈的接电孔内，且所述导电连接块的顶部经由所述接电孔伸出所述承载盘；

所述导电柱穿设于所述卡盘，所述导电柱的底端通过所述导电片与所述导电连接块的顶端相电连接，所述导电柱的顶端与所述环形导电弹片相接触并形成电连接；

所述导电柱的数量为多个，多个所述导电柱沿所述外环部的周向间隔排布，多个所述导电柱通过多个所述导电片与所述导电连接块相电连接。