[发明专利]一种利用声响光学调制的激光加工装置及激光加工方法

权利要求书

1.一种利用声响光学调制的激光加工装置，包括用于发射脉冲激光束的激光光源模块（1）、激光分割模块（2）、光束筛选模块（3）、光路调节模块（4），其特征在于：所述激光分割模块（2）包括能够将所述脉冲激光束分割成复数加工束的声响光学变调模块（21）、对所述复数加工束的声波进行调节的声波驱动部（22），所述声响光学变调模块（21）包括能够改变第一方向上的所述复数加工束的输出角度的第一变调部（211）、能够改变第二方向上的所述复数加工束的输出角度的第二变调部（212）。

2.根据权利要求1所述的利用声响光学调制的激光加工装置，其特征在于：所述复数加工束包括0次衍射光束（L0）、高次衍射光束，所述高次衍射光束包括一次衍射光束（L1）、二次衍射光束（L2）和三次衍射光束（L3）。

3.根据权利要求2所述的利用声响光学调制的激光加工装置，其特征在于：所述光束筛选模块（3）包括将所述0次衍射光束（L0）除去的倒空器（31）、将所述高次衍射光束的方向进行改变的筛选反射镜（32）、用于调整所述一次衍射光束（L1）出射方向的激光振镜系统（33）。

4.根据权利要求3所述的利用声响光学调制的激光加工装置，其特征在于：所述激光振镜系统（33）包括多块振镜（331），多块所述振镜（331）能够将所述一次衍射光束（L1）入射至所述光路调节模块（4）的设置。

5.根据权利要求1所述的利用声响光学调制的激光加工装置，其特征在于：所述第一变调部（211）和所述第二变调部（212）分别包括多种介质，所述介质为玻璃、石英中的一种或多种。

6.根据权利要求1所述的利用声响光学调制的激光加工装置，其特征在于：所述光路调节模块（4）包括多块透镜和多块反射镜。

7.根据权利要求6所述的利用声响光学调制的激光加工装置，其特征在于：多块所述透镜和多块所述反射镜能够旋转的调节设置。

8.一种采用以上任意一项权利要求所述的激光加工装置的激光加工方法，其特征在于：具体包括以下步骤：S1，激光光源模块发出脉冲激光束并入射到激光分割模块；S2，入射到激光分割模块的光会被衍射改变行进路线，激光分割模块使高次衍射光束沿x方向和y方向衍射，声波驱动部可以在脉冲激光束发射期间通过随时间改变将脉冲激光束时分割为复数加工束；S3，光路调节模块通过调节复数加工束的光学粒子的排列方向改变复数加工束的进行路径，从而使复数加工束照射到不同位置，形成多种激光加工模式，通过多种激光加工模式完成激光加工。