[发明专利]一种利用声响光学调制的激光加工装置及激光加工方法

说明书

一种利用声响光学调制的激光加工装置及激光加工方法，包括用于发射脉冲激光束的激光光源模块、激光分割模块、光束筛选模块、光路调节模块，激光分割模块包括能够将脉冲激光束分割成复数加工束的声响光学变调模块、对复数加工束的声波进行调节的声波驱动部，声响光学变调模块包括第一变调部、第二变调部。通过激光分割模块中将脉冲激光束分割成复数加工束的声响光学变调模块，可以增大光源所需要的脉冲幅度限制，利用复数加工束形成加工模式，能够同时对加工件的多处进行加工，缩短激光加工工序的时间，提高激光加工速率，通过设置改变复数加工束输出角度的第一变调部和第二变调部，能够提高激光加工的精度。

技术领域

本发明涉及一种利用声响光学调制的激光加工装置及激光加工方法。

背景技术

一般所说的激光加工工程，是指在加工品的表面上注射激光，对加工品表面的形状，物理性质等进行加工的工程，这些加工品有多种多样的形状。

现有技术中，一台激光加工装置只有一束加工束，加工时，需要不断改变加工束的方向，加工时间长，加工效率低。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种利用声响光学调制的激光加工装置。

为了解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：一种利用声响光学调制的激光加工装置，包括用于发射脉冲激光束的激光光源模块、激光分割模块、光束筛选模块、光路调节模块，所述激光分割模块包括能够将所述脉冲激光束分割成复数加工束的声响光学变调模块、对所述复数加工束的声波进行调节的声波驱动部，所述声响光学变调模块包括能够改变第一方向上的所述复数加工束的输出角度的第一变调部、能够改变第二方向上的所述复数加工束的输出角度的第二变调部。通过激光分割模块中将脉冲激光束分割成复数加工束的声响光学变调模块，可以增大光源所需要的脉冲幅度限制，利用复数加工束形成加工模式，能够同时对加工件的多处进行加工，缩短激光加工工序的时间，提高激光加工速率，通过设置改变复数加工束输出角度的第一变调部和第二变调部，能够提高激光加工的精度。

优选的，所述复数加工束包括0次衍射光束、高次衍射光束，所述高次衍射光束包括一次衍射光束、二次衍射光束和三次衍射光束。

优选的，所述光束筛选模块包括将所述0次衍射光束除去的倒空器、将所述高次衍射光束的方向进行改变的筛选反射镜、用于调整所述一次衍射光束出射方向的激光振镜系统。利用倒空器去除不能作为加工光束的0次衍射光束，一次衍射光束易于控制光束强度，比其他高次衍射光束稳定性高，高次衍射光束的衍射次数越高，衍射角度越大，通过这种性质，结合筛选反射镜，可以将二次衍射光束和三次衍射光束去除，留下一次衍射光束，并将其射入激光振镜系统，完成筛选。

优选的，所述激光振镜系统包括多块振镜，多块所述振镜能够将所述一次衍射光束入射至所述光路调节模块的设置。

优选的，所述第一变调部和所述第二变调部分别包括多种介质，所述介质为玻璃、石英中的一种或多种。

优选的，所述光路调节模块包括多块透镜和多块反射镜。

优选的，多块所述透镜和多块所述反射镜能够旋转的调节设置。可以调节复数加工束的进行路径，使复数加工束照射到不同位置，形成不同的加工模式。

本发明要解决的又一技术问题是提供一种利用声响光学调制的激光加工方法。

为了解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：一种采用以上所述的激光加工装置的激光加工方法，具体包括以下步骤：S1，激光光源模块发出脉冲激光束并入射到激光分割模块；S2，入射到激光分割模块的光会被衍射改变行进路线，激光分割模块使高次衍射光束沿x方向和y方向衍射，声波驱动部可以在脉冲激光束发射期间通过随时间改变将脉冲激光束时分割为复数加工束；S3，光路调节模块通过调节复数加工束的光学粒子的排列方向改变复数加工束的进行路径，从而使复数加工束照射到不同位置，形成多种激光加工模式，通过多种激光加工模式完成激光加工。