[发明专利]一种叉指换能器、声表面波谐振器以及制备方法

权利要求书

1.一种叉指换能器，其特征在于，所述叉指换能器包括：

第一汇流条；以及与所述第一汇流条相对设置的第二汇流条；

在第一方向上，所述第一汇流条包括依次交替排布的多个第一电极指以及多个第二电极指，相邻所述第一电极指与所述第二电极指之间存在间隔；

在所述第一方向上，所述第二汇流条包括依次交替排布的多个第三电极指以及多个第四电极指，相邻所述第三电极指与所述第四电极指之间存在间隔；

所述第一电极指与所述第三电极指相对设置，且任一所述相对设置的所述第一电极指与所述第三电极指之间存在第一间距；所述第二电极指与所述第四电极指相对设置，且任一所述相对设置的所述第二电极指与所述第四电极指之间有第二间距；所述第一间距与所述第二间距相同；

多个所述第一间距与多个所述第二间距在所述第一汇流条与所述第二汇流条之间形成一个虚拟菱形；或多个所述第一间距与多个所述第二间距在所述第一汇流条与所述第二汇流条之间形成两条平行的虚拟直线；

其中，所述第一方向平行于所述第一汇流条的延伸方向，且由所述第一汇流条的端部指向所述第一汇流条的中间位置。

2.根据权利要求1所述叉指换能器，其特征在于，所述叉指换能器还包括：

多个所述第一电极指的长度在所述第一方向上等差递增；

多个所述第二电极指的长度在所述第一方向上等差递减；

多个所述第三电极指的长度在所述第一方向上等差递减；

多个所述第四电极指的长度在所述第一方向上等差递增。

3.根据权利要求2所述叉指换能器，其特征在于，在所述第一方向上，相邻所述第一电极指与所述第二电极指之间间隔的距离相同；

相邻所述第三电极指与所述第四电极指之间间隔的距离相同。

4.根据权利要求3所述叉指换能器，其特征在于，在所述第一方向上，多个所述第一电极指、多个所述第二电极指、多个所述第三电极指以及多个所述第四电极指的指宽相同。

5.根据权利要求1所述叉指换能器，其特征在于，所述叉指换能器还包括：

多个所述第一电极指、多个所述第二电极指、多个所述第三电极指以及多个所述第四电极指的指宽在所述第一方向上等差递增；

在所述第一方向上，多个所述第一电极指的长度相同、多个所述第二电极指的长度相同、多个所述第三电极指的长度相同以及多个所述第四电极指的长度相同。

6.根据权利要求5所述叉指换能器，其特征在于，相邻所述第一电极指与所述第二电极指之间间隔的距离，在所述第一方向上等差递减；

相邻所述第三电极指与所述第四电极指之间间隔的距离，在所述第一方向上等差递减。

7.根据权利要求1所述叉指换能器，其特征在于，所述叉指换能器还包括：

多个所述第一电极指的长度在所述第一方向上等差递增，且多个所述第一电极指的指宽在所述第一方向上等差递增；

多个所述第二电极指的长度在所述第一方向上等差递减，且多个所述第二电极指的指宽在所述第一方向上等差递增；

多个所述第三电极指的长度在所述第一方向上等差递减，且多个所述第三电极指的指宽在所述第一方向上等差递增；

多个所述第四电极指的长度在所述第一方向上等差递增，且多个所述第四电极指的指宽在所述第一方向上等差递增。

8.根据权利要求7所述叉指换能器，其特征在于，相邻所述第一电极指与所述第二电极指之间间隔的距离，在所述第一方向上等差递减；

相邻所述第三电极指与所述第四电极指之间间隔的距离，在所述第一方向上等差递减。

9.一种声表面波谐振器，其特征在于，所述声表面波谐振器包括：

衬底；

位于所述衬底一侧的氧化层；

位于所述氧化层背离所述衬底一侧的压电层；

位于所述压电层背离所述衬底一侧的叉指换能器；所述叉指换能器为权利要求1-8任一项所述的叉指换能器。

10.一种声表面波谐振器的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：

提供一衬底；

在所述衬底一侧形成氧化层；

在所述氧化层背离所述衬底一侧形成压电层；

在所述压电层背离所述衬底一侧形成叉指换能器；所述叉指换能器为权利要求1-8任一项所述的叉指换能器。