[发明专利]一种叉指换能器、声表面波谐振器以及制备方法

说明书

本发明提供了一种叉指换能器、声表面波谐振器以及制备方法，该叉指换能器通过变迹或加权或变迹与加权结合的方式形成了本发明中的结构，该结构可以使得该叉指换能器中声波传播的方向与能量流动的方向尽可能接近，即可以使该叉指换能器的能流角无限接近于零（声波的相速度和群速度方向一致），从而抑制横向模式杂散的产生，进而改善包含该叉指换能器的声表面波谐振器的性能。

技术领域

本发明涉及射频滤波技术领域，更具体地说，涉及一种叉指换能器、声表面波谐振器以及制备方法。

背景技术

声表面波谐振器作为频率源器件，广泛应用于通信、遥控、报警等系统。

现有的多层结构声表面波谐振器中的叉指换能器(Interdigital Transducer，IDT)通常是由周期性、等线宽的电极指组成，这种结构会导致剪切波在谐振频率和反谐振频率之间的横向模式被抑制，从而导致横向方向上产生严重的杂散模态，使得谐振器的性能降低。因此，亟需一种可以抑制杂波的叉指换能器及声表面波谐振器。

发明内容

有鉴于此，为解决上述问题，本发明提供一种叉指换能器、声表面波谐振器以及制备方法，技术方案如下：

一种叉指换能器，所述叉指换能器包括：

第一汇流条；以及与所述第一汇流条相对设置的第二汇流条；

在第一方向上，所述第一汇流条包括依次交替排布的多个第一电极指以及多个第二电极指，相邻所述第一电极指与所述第二电极指之间存在间隔；

在所述第一方向上，所述第二汇流条包括依次交替排布的多个第三电极指以及多个第四电极指，相邻所述第三电极指与所述第四电极指之间存在间隔；

所述第一电极指与所述第三电极指相对设置，且任一所述相对设置的所述第一电极指与所述第三电极指之间存在第一间距；所述第二电极指与所述第四电极指相对设置，且任一所述相对设置的所述第二电极指与所述第四电极指之间有第二间距；所述第一间距与所述第二间距相同；

多个所述第一间距与多个所述第二间距在所述第一汇流条与所述第二汇流条之间形成一个虚拟菱形；或多个所述第一间距与多个所述第二间距在所述第一汇流条与所述第二汇流条之间形成两条平行的虚拟直线；

其中，所述第一方向平行于所述第一汇流条的延伸方向，且由所述第一汇流条的端部指向所述第一汇流条的中间位置。

可选的，在上述叉指换能器中，所述叉指换能器还包括：

多个所述第一电极指的长度在所述第一方向上等差递增；

多个所述第二电极指的长度在所述第一方向上等差递减；

多个所述第三电极指的长度在所述第一方向上等差递减；

多个所述第四电极指的长度在所述第一方向上等差递增。

可选的，在上述叉指换能器中，在所述第一方向上，相邻所述第一电极指与所述第二电极指之间间隔的距离相同；

相邻所述第三电极指与所述第四电极指之间间隔的距离相同。

可选的，在上述叉指换能器中，在所述第一方向上，多个所述第一电极指、多个所述第二电极指、多个所述第三电极指以及多个所述第四电极指的指宽相同。

可选的，在上述叉指换能器中，所述叉指换能器还包括：

多个所述第一电极指、多个所述第二电极指、多个所述第三电极指以及多个所述第四电极指的指宽在所述第一方向上等差递增；

在所述第一方向上，多个所述第一电极指的长度相同、多个所述第二电极指的长度相同、多个所述第三电极指的长度相同以及多个所述第四电极指的长度相同。

可选的，在上述叉指换能器中，相邻所述第一电极指与所述第二电极指之间间隔的距离，在所述第一方向上等差递减；

相邻所述第三电极指与所述第四电极指之间间隔的距离，在所述第一方向上等差递减。