[发明专利]一种腔体盖开合结构及气相沉积设备

权利要求书

1.一种腔体盖开合结构，其特征在于，包括：

腔体连接模块，包括腔体固定块与锁定轴，所述锁定轴凸设于所述腔体固定块远离腔体盖的一侧，所述锁定轴远离腔体盖的一侧具有圆弧表面，所述圆弧表面设有第一啮合齿；

腔体盖固定块，包括收容腔体及结合部，所述收容腔体内部设有收容空间且底部漏空，所述锁定轴至少有一部分自所述收容腔体的底部伸入所述收容空间内，所述收容腔体与所述锁定轴之间通过第一活动轴活动连接以使所述腔体盖固定块可以所述第一活动轴为转动轴在预设角度范围内转动，所述结合部连接于所述收容腔体面向腔体盖的一侧并用于与腔体盖固定连接以带动腔体盖作开合运动；

锁定件，位于所述锁定轴远离腔体盖的一侧并与所述收容腔体活动连接，所述锁定件包括位于所述收容空间内的锁定轮及位于所述收容空间外并与所述锁定轮固定连接的手柄，所述锁定轮面向所述锁定轴的一面设有与所述第一啮合齿相配合的第二啮合齿，其中，当所述锁定件处于释放状态时，所述第二啮合齿与所述第一啮合齿间隔预设距离，当所述锁定件处于锁定状态时，所述第二啮合齿与所述第一啮合齿啮合以使所述腔体盖固定块停止转动进而将腔体盖锁定到预设开合角度；

助力模块，位于所述收容空间内并包括自下而上依次设置的联动杆、下连接块、弹性模块、上连接块，其中，所述联动杆的下端通过第二活动轴与所述锁定轴活动连接，所述联动杆的上端通过第三活动轴与所述下连接块活动连接，所述弹性模块的下端与所述下连接块固定连接，所述弹性模块的上端与所述上连接块固定连接；

助力调节模块，与所述收容腔体及所述上连接块连接以调节所述上连接块的位置进而改变所述弹性模块产生的弹力；

其中，所述锁定件还包括滑杆，所述滑杆贯穿所述手柄并可相对于所述手柄沿靠近或远离所述收容腔体的方向移动，所述收容腔体的侧壁设有锁定孔，当所述锁定轮随所述手柄移动至所述第二啮合齿与所述第一啮合齿啮合时，所述滑杆正对所述锁定孔，当所述滑杆被推入所述锁定孔中，所述手柄相对于所述收容腔体固定以使所述锁定件保持锁定状态。

2.根据权利要求1所述的腔体盖开合结构，其特征在于：所述收容腔体面向腔体盖的一面设有侧面开口，所述结合部包括第一结合件与第二结合件，所述第一结合件与所述第二结合件分别与所述侧面开口的左右两侧缘连接。

3.根据权利要求2所述的腔体盖开合结构，其特征在于：所述第一结合件与所述第二结合件均设有多个安装孔。

4.根据权利要求1所述的腔体盖开合结构，其特征在于：所述助力调节模块与所述收容腔体的顶部或侧面连接。

5.根据权利要求4所述的腔体盖开合结构，其特征在于：所述助力调节模块与所述收容腔体的顶部连接，且所述助力调节模块包括螺纹丝杆及旋钮，所述螺纹丝杆贯穿所述收容腔体的顶面以伸入所述收容空间内与所述上连接块连接，所述旋钮位于所述收容腔体上方并套设于所述螺纹丝杆周围，所述螺纹丝杆随所述旋钮的转动作上下移动以带动所述上连接块作上下移动。

6.根据权利要求1所述的腔体盖开合结构，其特征在于：所述弹性模块包括弹簧。

7.根据权利要求1所述的腔体盖开合结构，其特征在于：所述联动杆的数量为1-10个。

8.根据权利要求1所述的腔体盖开合结构，其特征在于：所述助力模块还包括至少一滑动杆，所述滑动杆的顶端与所述上连接块固定连接，所述滑动杆的下端贯穿所述下连接块并可相对于所述下连接块上下移动。

9.根据权利要求1所述的腔体盖开合结构，其特征在于：所述腔体固定块包括用于与腔体侧壁连接的竖直安装部。

10.根据权利要求9所述的腔体盖开合结构，其特征在于：所述腔体固定块还包括用于与腔体上表面连接的水平安装部，所述水平安装部连接于所述竖直安装部的底端并往远离腔体盖的方向延伸。