[发明专利]一种抛光液浓度在线测量装置及抛光液供液系统

权利要求书

1.一种抛光液浓度在线测量装置，其特征在于，包括：

采样皿(1)，用于在线获取抛光液；

升降机构，与所述采样皿(1)相连，用于驱动所述采样皿(1)升降；所述升降机构用于设置在抛光液容器内，以使所述采样皿(1)能够浸入所述抛光液容器的液面下方；

力传感器(2)，连接于所述采样皿(1)和所述升降机构之间；

控制器，分别与所述升降机构和所述力传感器(2)相连，所述控制器预先存储有所述采样皿(1)的体积和水的密度，用于当所述升降机构将所述采样皿(1)抬升至液面上方时，根据所述力传感器(2)的检测信号、所述采样皿(1)的体积和水的密度，计算得到抛光液的浓度。

2.根据权利要求1所述的抛光液浓度在线测量装置，其特征在于，还包括：

温度传感器(3)，设于所述采样皿(1)的内部，用于检测所述采样皿(1)获取的抛光液的温度，所述温度传感器(3)与所述控制器相连；

所述控制器还预先存储有温度与水的密度之间的对应关系，所述控制器还用于根据所述温度传感器(3)检测的温度值和所述对应关系，得到与所述温度值对应的水的密度。

3.根据权利要求1或2所述的抛光液浓度在线测量装置，其特征在于，所述升降机构包括：

丝杠轴(41)，通过所述力传感器(2)与所述采样皿(1)相连；

丝母齿轮(42)，与所述丝杠轴(41)螺纹连接；

主动齿轮(43)，与所述丝母齿轮(42)啮合传动；

旋转驱动机构(44)，分别与所述主动齿轮(43)和所述控制器相连，用于驱动所述主动齿轮(43)转动；

止转器(45)，沿所述丝杠轴(41)的升降方向与所述丝杠轴(41)可相对滑动，沿所述丝杠轴(41)的周向对所述丝杠轴(41)进行限位。

4.根据权利要求3所述的抛光液浓度在线测量装置，其特征在于，还包括基座(46)，所述丝母齿轮(42)、所述旋转驱动机构(44)和所述止转器(45)均安装于所述基座(46)，所述基座(46)用于安装于所述抛光液容器内。

5.根据权利要求4所述的抛光液浓度在线测量装置，其特征在于，所述止转器(45)和所述丝杠轴(41)中的一者设有长槽，另一者设有伸入所述长槽内的凸起部。

6.根据权利要求4所述的抛光液浓度在线测量装置，其特征在于，所述丝杠轴(41)通过滑动轴承(47)与所述基座(46)相连。

7.根据权利要求6所述的抛光液浓度在线测量装置，其特征在于，所述基座(46)与所述采样皿(1)之间连接有伸缩密封管(48)，所述力传感器(2)和所述丝杠轴(41)分别位于所述伸缩密封管(48)内，所述伸缩密封管(48)的伸缩方向为所述采样皿(1)的升降方向。

8.根据权利要求4所述的抛光液浓度在线测量装置，其特征在于，所述丝母齿轮(42)的两端分别通过支撑轴承(49)与所述基座(46)相连。

9.根据权利要求4所述的抛光液浓度在线测量装置，其特征在于，所述基座(46)包括：

座体(461)，其顶部敞口，所述丝母齿轮(42)、所述主动齿轮(43)、所述旋转驱动机构(44)和所述止转器(45)均设于所述座体(461)内部；

端盖(462)，盖设于所述座体(461)的顶部。

10.一种抛光液供液系统，包括抛光液容器，其特征在于，还包括权利要求1-9任一项所述的抛光液浓度在线测量装置，所述抛光液浓度在线测量装置的升降机构设于所述抛光液容器内，以使所述抛光液浓度在线测量装置的采样皿(1)浸入所述抛光液容器的液面下方。