[发明专利]一种抛光液浓度在线测量装置及抛光液供液系统

说明书

本发明公开了一种抛光液浓度在线测量装置及抛光液供液系统，包括：采样皿，用于在线获取抛光液；升降机构，与采样皿相连，用于驱动采样皿升降；升降机构用于设置在抛光液容器内，以使采样皿能够浸入抛光液容器的液面下方；力传感器，连接于采样皿和升降机构之间；控制器，分别与升降机构和力传感器相连，控制器预先存储有采样皿的体积和水的密度，用于当升降机构将采样皿抬升至液面上方时，根据力传感器的检测信号、采样皿的体积和水的密度，计算得到抛光液的浓度。可实现抛光液浓度的在线测量，有利于对抛光工艺全过程进行抛光液浓度的实时在线监测，从而提高抛光质量与效率。

技术领域

本发明涉及抛光液浓度检测技术领域，更具体地说，涉及一种抛光液浓度在线测量装置。此外，本发明还涉及一种包括上述抛光液浓度在线测量装置的抛光液供液系统。

背景技术

在惯性约束聚变研究领域，大型高功率激光装置具有重要应用，高功率激光装置在大口径光学元件数量、质量方面提出了接近制造极限水平的要求。

抛光液作为光学元件超精密抛光系统不可或缺的重要材料之一，它的参数直接影响光学元件的表面质量和加工效率，例如，抛光液的浓度参数与去除效率、表面划痕等密切相关，因此，对抛光液的浓度测量至关重要。

现有技术中，采用离线式测量方式，也即，人工定时取样后，对取样抛光液进行蒸发，然后，对蒸发后的固体颗粒进行称重，称重后计算获得抛光液浓度。

然而，这种离线式测量方式需要人工深度介入，人工提取抛光液并进行线下处理，操作繁琐，及时性差，给抛光液浓度的测量带来诸多不便。

综上所述，如何提供一种抛光液浓度在线测量装置，以实现对抛光液浓度的在线测量，是目前本领域技术人员亟待解决的问题。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的是提供一种抛光液浓度在线测量装置，可实现对抛光液浓度的在线测量。

本发明的另一目的是提供一种包括上述抛光液浓度在线测量装置的抛光液供液系统，可实现对抛光液浓度的实时在线监测。

为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种抛光液浓度在线测量装置，包括：

采样皿，用于在线获取抛光液；

升降机构，与所述采样皿相连，用于驱动所述采样皿升降；所述升降机构用于设置在抛光液容器内，以使所述采样皿能够浸入所述抛光液容器的液面下方；

力传感器，连接于所述采样皿和所述升降机构之间；

控制器，分别与所述升降机构和所述力传感器相连，所述控制器预先存储有所述采样皿的体积和水的密度，用于当所述升降机构将所述采样皿抬升至液面上方时，根据所述力传感器的检测信号、所述采样皿的体积和水的密度，计算得到抛光液的浓度。

可选地，还包括：

温度传感器，设于所述采样皿的内部，用于检测所述采样皿获取的抛光液的温度，所述温度传感器与所述控制器相连；

所述控制器还预先存储有温度与水的密度之间的对应关系，所述控制器还用于根据所述温度传感器检测的温度值和所述对应关系，得到与所述温度值对应的水的密度。

可选地，所述升降机构包括：

丝杠轴，通过所述力传感器与所述采样皿相连；

丝母齿轮，与所述丝杠轴螺纹连接；

主动齿轮，与所述丝母齿轮啮合传动；

旋转驱动机构，分别与所述主动齿轮和所述控制器相连，用于驱动所述主动齿轮转动；

止转器，沿所述丝杠轴的升降方向与所述丝杠轴可相对滑动，沿所述丝杠轴的周向对所述丝杠轴进行限位。