[发明专利]在线真空镀膜生产线

权利要求书

1.一种在线真空镀膜生产线，其特征在于：包括上料输送机构、多个真空镀膜机、下料输送机构和抓取机械手，所述上料输送机构用于输送待加工的工件，多个所述真空镀膜机沿上料输送机构的输送方向排布，每个所述真空镀膜机独立设置，所述真空镀膜机包括结构本体、料架、电极、镀膜原料发生装置和真空发生装置，所述结构本体具有一镀膜腔室，所述料架和电极各安装于所述镀膜腔室内，所述料架适于承载一个工件，所述镀膜原料发生装置适于往所述镀膜腔室输送工艺气体，所述真空发生装置与所述镀膜腔室连通并用于使所述镀膜腔室形成真空环境，所述下料输送机构用于输送经镀膜后的工件，所述下料输送机构设于所述上料输送机构的另一侧，所述抓取机械手设于上料输送机构和所述下料输送机构之间，所述抓取机械手用于抓取所述上料输送机构的工件放到所述料架上，所述抓取机械手还用于抓取所述料架上的工件放到所述下料输送机构。

2.根据权利要求1所述的在线真空镀膜生产线，其特征在于，多个所述真空镀膜机设于所述上料输送机构的一侧，所述真空镀膜机呈并排布置。

3.根据权利要求1所述的在线真空镀膜生产线，其特征在于，所述结构本体包括结构框架和可移离地盖合于所述结构框架的结构盖体，所述镀膜腔室形成于所述结构框架，所述结构盖体设有观察窗结构，所述观察窗结构安装有透明材料件。

4.根据权利要求3所述的在线真空镀膜生产线，其特征在于，所述真空镀膜机还包括机架和开合盖驱动器，所述结构框架安装于所述机架，所述开合盖驱动器安装于所述机架，所述开合盖驱动器的输出端安装于所述结构盖体，所述开合盖驱动器驱使所述结构盖体盖合至所述结构框架和移离于所述结构框架。

5.根据权利要求4所述的在线真空镀膜生产线，其特征在于，所述真空镀膜机还包括第一转动支架和第二转动支架，所述开合盖驱动器为气缸，所述第一转动支架的第一端铰接于所述机架，所述第二转动支架的第一端铰接于所述第一转动支架的第二端，所述结构盖体铰接于所述第二转动支架的第二端，所述气缸转动安装于所述机架，所述气缸的输出端转动安装于所述第一转动支架。

6.根据权利要求1所述的在线真空镀膜生产线，其特征在于，所述电极沿所述料架的周向包围料架布置。

7.根据权利要求1所述的在线真空镀膜生产线，其特征在于，所述镀膜原料发生装置包括变压器和蒸发舟，所述蒸发舟位于所述料架的正下方，所述变压器位于所述结构本体外，所述蒸发舟电连接于所述变压器。

8.根据权利要求7所述的在线真空镀膜生产线，其特征在于，所述镀膜原料发生装置还包括蠕动泵，所蠕动泵的出口通过输送管与所述蒸发舟连通，所述蠕动泵的入口通过输送管与一原料瓶连通。

9.根据权利要求3所述的在线真空镀膜生产线，其特征在于，所述真空发生装置包括真空泵和抽气管，所述结构盖体开设有安装通孔，所述抽气管的第一端与所述真空泵的出口连通，所述抽气管的第二端安装于所述安装通孔。