[发明专利]在线真空镀膜生产线

说明书

本发明公开了一种在线真空镀膜生产线，其包括上料输送机构及多个真空镀膜机，上料输送机构用于输送待加工的工件，多个真空镀膜机沿上料输送机构的输送方向排布，每个真空镀膜机独立设置，真空镀膜机包括结构本体、料架、电极、镀膜原料发生装置和真空发生装置，结构本体具有一镀膜腔室，料架和电极各安装于镀膜腔室内，镀膜原料发生装置适于往镀膜腔室输送工艺气体，真空发生装置与镀膜腔室连通并用于使镀膜腔室形成真空环境。本发明的在线真空镀膜生产线具有生产灵活的优点。

技术领域

本发明涉及镀膜领域，尤其涉及一种在线真空镀膜生产线。

背景技术

真空镀膜是一种在高真空环境下，在金属、塑料等工件表面上形成具有所需特性薄膜的一种工艺方法，其被广泛应用于电子设备制造的各个领域，例如为了提高装配后的手机具有一定的防水疏水性能，可以采用等离子体增强化学气相沉积(plasma enhancedchemical vapor deposition，PECVD)对手机进行镀膜，镀膜后的手机表面的缝隙形成可保护涂层，赋予手机优良的防水疏水效果。

等离子体增强化学气相沉积法是真空镀膜工艺的一种，常见的做法是将工件放置在一个工件架上，再将工件架放入一个反应腔室中，反应腔内部设有电极，电极与工件之间形成一个放电回路，腔室中的工艺气体在电极的交流电场的作用下被电离形成等离子体，并沉积到工件表面进行镀膜。然而，采用上述加工方法仍存在一些问题，例如，由于腔室比较大，工件架也做的很大，工件架通常装载上百个工件，工件架满载时才能放入腔室内。然而，部分生产订单的生产量并不大，工件架并不满载，如果仍采用上述形式的加工方法会带来大量的原料和能源损耗，并不经济环保。另外，当设备出现故障或损坏时，生产则要被迫暂停，影响加工进度。

因此，亟需要一种生产灵活的在线真空镀膜生产线来克服上述缺陷。

发明内容

本发明的目的在于提供一种生产灵活的在线真空镀膜生产线。

为实现上述目的，本发明的在线真空镀膜生产线包括上料输送机构及多个真空镀膜机，上料输送机构用于输送待加工的工件，多个真空镀膜机沿上料输送机构的输送方向排布，每个真空镀膜机独立设置，真空镀膜机包括结构本体、料架、电极、镀膜原料发生装置和真空发生装置，结构本体具有一镀膜腔室，料架和电极各安装于镀膜腔室内，料架适于承载一个工件，镀膜原料发生装置适于往镀膜腔室输送工艺气体，真空发生装置与镀膜腔室连通并用于使镀膜腔室形成真空环境。

较佳地，多个真空镀膜机设于上料输送机构的一侧，真空镀膜机呈并排布置。

较佳地，本发明的在线真空镀膜生产线还包括下料输送机构和抓取机械手，下料输送机构用于输送经镀膜后的工件，下料输送机构设于上料输送机构的另一侧，抓取机械手设于上料输送机构和下料输送机构之间，抓取机械手用于抓取上料输送机构的工件放到料架上，抓取机械手还用于抓取料架上的工件放到下料输送机构。

较佳地，结构本体包括结构框架和可移离地盖合于结构框架的结构盖体，镀膜腔室形成于结构框架，结构盖体设有观察窗结构，观察窗结构安装有透明材料件。

较佳地，真空镀膜机还包括机架和开合盖驱动器，结构框架安装于机架，开合盖驱动器安装于机架，开合盖驱动器的输出端安装于结构盖体，开合盖驱动器驱使结构盖体盖合至结构框架和移离于结构框架。

较佳地，真空镀膜机还包括第一转动支架和第二转动支架，开合盖驱动器为气缸，第一转动支架的第一端铰接于机架，第二转动支架的第一端铰接于第一转动支架的第二端，结构盖体铰接于第二转动支架的第二端，气缸转动安装于机架，气缸的输出端转动安装于第一转动支架。

较佳地，电极沿料架的周向包围料架布置。

较佳地，镀膜原料发生装置包括变压器和蒸发舟，蒸发舟位于料架的正下方，变压器位于结构本体外，蒸发舟电连接于变压器。