[发明专利]一种用于镀制膜层的掩膜组件及其制作方法在审

专利信息
申请号: 202210653510.3 申请日: 2022-06-09
公开(公告)号: CN115044865A 公开(公告)日: 2022-09-13
发明(设计)人: 孔祥盛;胡汉林;陈文礼;刘继伟;孙俊伟;包悦 申请(专利权)人: 烟台睿创微纳技术股份有限公司
主分类号: C23C14/04 分类号: C23C14/04;C23C14/35
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 夏菁
地址: 264006 山东*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 镀制膜层 组件 及其 制作方法
【说明书】:

本申请公开了一种用于镀制膜层的掩膜组件及其制作方法,涉及图形化镀膜设备领域,用于待镀部件镀制中。该组件包括掩膜片、具有第一通孔的掩膜片载板、具有第二通孔的定位基板,掩膜片载板与定位基板固定连接,掩膜片与掩膜片载板固定连接,第一通孔与第二通孔对应;第二通孔用于放置待镀部件,掩膜片的图形化处理区域对应第一通孔,定位基板和掩膜片位于掩膜片载板的同一侧。本申请具有第二通孔的定位基板和掩膜片分别与具有第一通孔的掩膜片载板固定连接,镀制时直接将待镀部件放置在第二通孔处,无需取放掩膜片,简化工艺流程,提升镀制效率,且可以避免在取放掩膜片时对掩膜片以及对待镀部件造成的损伤,降低镀制成本,提升待镀部件的良率。

技术领域

本申请涉及图形化镀膜设备领域,特别是涉及一种用于镀制膜层的掩膜组件及其制作方法。

背景技术

目前对红外等光学窗口进行图形化镀制时,需要借助掩膜组件,掩膜组件包括窗口定位板和图形化的掩膜片,窗口定位板上刻蚀有凹槽,在镀制时,先将划片后的光学窗口放置在凹槽中,再将图形化的掩膜片放入凹槽,覆盖在光学窗口上,然后进行镀制。现有的掩膜组件存在以下缺陷:第一,需要镀制多少光学窗口,就需要放置多少次掩膜片,使得镀制过程工艺流程复杂,工艺时间长,导致生产效率低;第二,利用吸嘴或者镊子放置和取出掩膜片时,容易造成掩膜片损坏,由于掩膜片成本高,使得镀制成本增加;第三,放置掩膜片过程易造成光学窗口划伤、缺陷,使得光学窗口的良率下降;第四,每次掩膜片定位都在凹槽中有一定活动余量,掩膜片和光学窗口均是可以活动的,定位精度差,造成产品稳定性较低。

因此,如何解决上述技术问题应是本领域技术人员重点关注的。

发明内容

本申请的目的是提供一种用于镀制膜层的掩膜组件及其制作方法,以提升待镀部件的镀制效率,降低生产成本,同时提升待镀部件的良率。

为解决上述技术问题,本申请提供一种用于镀制膜层的掩膜组件,包括:

掩膜片、具有第一通孔的掩膜片载板、具有第二通孔的定位基板,所述掩膜片载板与所述定位基板固定连接,所述掩膜片与所述掩膜片载板固定连接,所述第一通孔与所述第二通孔对应;

所述第二通孔用于放置待镀部件,所述掩膜片的图形化处理区域对应所述第一通孔,所述定位基板和所述掩膜片位于所述掩膜片载板的同一侧。

可选的,所述掩膜片载板与所述定位基板之间共晶连接。

可选的,所述掩膜片与所述掩膜片载板之间共晶连接。

可选的,所述第一通孔和所述第二通孔均呈阵列分布。

可选的,还包括:

覆盖于所述掩膜片中心遮挡区的保护层。

可选的,还包括:

设于所述定位基板远离所述掩膜片载板一侧的基板,用于承托所述待镀部件。

可选的,所述基板与所述掩膜片载板、所述定位基板之间可拆卸连接。

可选的,所述基板与所述掩膜片载板、所述定位基板之间通过螺栓连接。

本申请还提供一种用于镀制膜层的掩膜组件的制作方法,包括:

获得具有第一通孔的掩膜片载板;

获得具有第二通孔的定位基板;所述第二通孔用于放置待镀部件,且所述第二通孔与所述第一通孔对应;

将所述掩膜片载板和所述定位基板固定连接;

将掩膜片与所述掩膜片载板固定连接,得到用于镀制膜层的掩膜组件,所述定位基板和所述掩膜片位于所述掩膜片载板的同一侧,所述掩膜片的图形化处理区域对应所述第一通孔。

可选的,所述将所述掩膜片载板和所述定位基板固定连接包括:

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