[发明专利]用于硬轴单晶炉的取棒工装、单晶炉组件及取棒车在审
申请号: | 202210659759.5 | 申请日: | 2022-06-13 |
公开(公告)号: | CN114959914A | 公开(公告)日: | 2022-08-30 |
发明(设计)人: | 宋涛;汪佳;王建军;张龙飞;李兆颖;周来平 | 申请(专利权)人: | 徐州晶睿半导体装备科技有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 221000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 硬轴单晶炉 工装 单晶炉 组件 取棒车 | ||
1.一种用于硬轴单晶炉的取棒工装,其特征在于,包括:
支架组件;
夹爪组件,所述夹爪组件包括第一夹爪和第二夹爪,所述第一夹爪和所述第二夹爪沿第一方向间隔开,所述第一夹爪和所述第二夹爪分别与所述支架组件沿所述第一方向滑移配合;
底托组件,所述底托组件包括底托,所述底托设于所述支架组件的下端,所述底托与所述支架组件沿上下方向滑移配合,所述底托具有适于与晶棒配合的贯穿孔,所述底托还设有适于所述晶棒的锥形体进出所述贯穿孔的缺口;
传动组件,所述传动组件包括:弹性连接组件、第一连接杆和第二连接杆,所述弹性连接组件的一端与所述支架组件的上端相连,所述弹性连接组件的另一端与所述底托组件相连,所述第一连接杆的一端与所述第一夹爪可转动地相连,所述第一连接杆的另一端与所述弹性连接组件可转动地相连,所述第二连接杆的一端与所述第二夹爪可转动地相连,所述第二连接杆的另一端与所述弹性连接组件可转动地相连,其中,所述第一连接杆的另一端和所述第二连接杆的另一端的转动中心线在同一条直线上,
所述底托沿上下方向在第一位置和第二位置之间可移动,当所述底托向下移动到所述第一位置时,所述底托带动所述弹性连接组件伸长,在所述第一连接杆和所述第二连接杆的带动下,所述第一夹爪和所述第二夹爪朝向靠近彼此的方向移动以处于抱夹状态。
2.根据权利要求1所述的用于硬轴单晶炉的取棒工装,其特征在于,所述夹爪组件为多个,多个所述夹爪组件在上下方向上间隔开排布,每个所述夹爪组件的所述第一夹爪和所述第二夹爪分别通过相应的所述第一连接杆和相应的所述第二连接杆与所述弹性连接组件相连。
3.根据权利要求1所述的用于硬轴单晶炉的取棒工装,其特征在于,所述支架组件设有沿所述第一方向延伸的第一滑轨,所述第一夹爪设有与所述第一滑轨配合的第一滑块,所述第二夹爪设有与所述第一滑轨配合的第二滑块,所述第一滑轨的两端分别设有第一止挡块和第二止挡块,所述第一止挡块用于限制所述第一夹爪的最大行程,所述第二止挡块用于限制所述第二夹爪的最大行程。
4.根据权利要求3所述的用于硬轴单晶炉的取棒工装,其特征在于,所述第一夹爪和所述第一连接杆沿第二方向间隔开,所述第一夹爪和所述第一连接杆之间通过第一连接框架相连,所述第二夹爪与所述第二连接杆沿第二方向间隔开,所述第二夹爪与所述第二连接杆之间通过第二连接框架相连,所述第一连接框架和所述第二连接框架背离彼此的方向敞开,其中,所述第二方向垂直于所述第一方向。
5.根据权利要求4所述用于硬轴单晶炉的取棒工装,其特征在于,所述弹性连接组件包括:
弹簧拉伸机构,所述弹簧拉伸机构包括第一弹簧支架、拉伸弹簧和第二弹簧支架,所述第一弹簧支架设于所述支架组件的顶端,所述第二弹簧支架设在所述第一弹簧支架的下方,所述拉伸弹簧设在所述第一弹簧支架和所述第二弹簧支架之间;
第一导向杆,所述第一导向杆的上端与所述第二弹簧支架相连,所述第一导向杆的下端与所述底托组件相连,所述支架组件还设有直线轴承,所述直线轴承的中心轴线竖向延伸,所述第一导向杆穿设于所述直线轴承。
6.根据权利要求5所述的用于硬轴单晶炉的取棒工装,其特征在于,所述弹性连接组件还包括:
卸载机构,所述卸载机构包括连接固定板、弹簧柱塞和第二导向杆,所述连接固定板与所述底托组件相连,所述弹簧柱塞设于所述连接固定板的一侧,所述第二导向杆位于所述连接固定板的另一侧且所述第二导向杆的上端与所述第一导向杆相连,所述第二导向杆设有在所述连接固定板的厚度方向上贯穿所述第二导向杆的锁孔,所述弹簧柱塞具有锁定状态和解锁状态,在所述锁定状态,所述弹簧柱塞的锁销穿过所述连接固定板插入所述锁孔内,在所述解锁状态,所述弹簧柱塞的锁销与所述锁孔脱离配合。
7.根据权利要求6所述的用于硬轴单晶炉的取棒工装,其特征在于,所述卸载机构还包括:滑板、滑槽件和螺纹紧固件,所述滑板位于所述滑槽件和所述连接固定板之间,所述滑槽件和所述滑板限定出适于所述第二导向杆穿过的配合通道,所述螺纹紧固件依次穿过所述滑槽件、所述滑板与所述连接固定板相连。
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