[发明专利]用于硬轴单晶炉的取棒工装、单晶炉组件及取棒车

说明书

本发明公开了一种用于硬轴单晶炉的取棒工装、单晶炉组件及取棒车，取棒工装包括：支架组件；夹爪组件，夹爪组件包括第一夹爪和第二夹爪，第一夹爪和第二夹爪分别与支架组件沿第一方向滑移配合；底托组件，底托组件包括底托；传动组件，传动组件包括：弹性连接组件、第一连接杆和第二连接杆，弹性连接组件的一端与支架组件的上端相连，弹性连接组件的另一端与底托组件相连，底托沿上下方向在第一位置和第二位置之间可移动，当底托向下移动到第一位置时，底托带动弹性连接组件伸长，在第一连接杆和第二连接杆的带动下，第一夹爪和第二夹爪朝向靠近彼此的方向移动以处于抱夹状态。根据本发明的取棒工装，有利于降低生产成本，且可靠性高。

技术领域

本发明涉及晶体制备领域，尤其是涉及一种用于硬轴单晶炉的取棒工装、单晶炉组件及取棒车。

背景技术

硬轴单晶炉不存在软轴单晶炉软轴系统类似于单摆和弹簧振子容易产生固有共振干扰的结构特点，在提高单晶材料生长的成晶率和晶体内在品质方面相对软轴更有优势。

然而相关技术中，一般采用晶棒取放车来夹取晶棒，需要采用电动或气动的方式控制夹爪组件取放晶棒，成本高昂，且容易对晶棒造成损伤，可靠性差，安全隐患大。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明在于提出一种用于硬轴单晶炉的取棒工装，有利于降低生产成本，且可靠性高。

本发明还提出一种具有上述取棒工装的单晶炉组件。

本发明还提出一种具有上述取棒工装的取棒车。

根据本发明实施例的用于硬轴单晶炉的取棒工装，包括：支架组件；夹爪组件，所述夹爪组件包括第一夹爪和第二夹爪，所述第一夹爪和所述第二夹爪沿第一方向间隔开，所述第一夹爪和所述第二夹爪分别与所述支架组件沿所述第一方向滑移配合；底托组件，所述底托组件包括底托，所述底托设于所述支架组件的下端，所述底托与所述支架组件沿上下方向滑移配合，所述底托具有适于与晶棒配合的贯穿孔，所述底托还设有适于所述晶棒的锥形体进出所述贯穿孔的缺口；传动组件，所述传动组件包括：弹性连接组件、第一连接杆和第二连接杆，所述弹性连接组件的一端与所述支架组件的上端相连，所述弹性连接组件的另一端与所述底托组件相连，所述第一连接杆的一端与所述第一夹爪可转动地相连，所述第一连接杆的另一端与所述弹性连接组件可转动地相连，所述第二连接杆的一端与所述第二夹爪可转动地相连，所述第二连接杆的另一端与所述弹性连接组件可转动地相连，其中，所述第一连接杆的另一端和所述第二连接杆的另一端的转动中心线在同一条直线上，所述底托沿上下方向在第一位置和第二位置之间可移动，当所述底托向下移动到所述第一位置时，所述底托带动所述弹性连接组件伸长，在所述第一连接杆和所述第二连接杆的带动下，所述第一夹爪和所述第二夹爪朝向靠近彼此的方向移动以处于抱夹状态。

根据本发明实施例的用于硬轴单晶炉的取棒工装，当底托向下移动到第一位置时，底托带动弹性连接组件伸长，在第一连接杆和第二连接杆的带动下，第一夹爪和第二夹爪朝向靠近彼此的方向移动以抱夹晶棒，当底托向上移动到第二位置时，弹性连接组件收缩，在第一连接杆和第二连接杆的带动下，第一夹爪和第二夹爪朝向远离彼此的方向移动以松开晶棒，可避免采用传统的电动或气动方式控制第一夹爪和第二夹爪的动作，有利于降低生产成本，且可靠性高，有利于减少安全隐患。

在本发明的一些实施例中，所述夹爪组件为多个，多个所述夹爪组件在上下方向上间隔开排布，每个所述夹爪组件的所述第一夹爪和所述第二夹爪分别通过相应的所述第一连接杆和相应的所述第二连接杆与所述弹性连接组件相连。

在本发明的一些实施例中，所述支架组件设有沿所述第一方向延伸的第一滑轨，所述第一夹爪设有与所述第一滑轨配合的第一滑块，所述第二夹爪设有与所述第一滑轨配合的第二滑块，所述第一滑轨的两端分别设有第一止挡块和第二止挡块，所述第一止挡块用于限制所述第一夹爪的最大行程，所述第二止挡块用于限制所述第二夹爪的最大行程。