[发明专利]一种高纯度氯气的分析方法

权利要求书

1.一种高纯度氯气的分析方法，其特征在于，包括以下步骤:步骤1：对取样管路(11)进行氦气吹扫；步骤2：使十通阀一(2)、十通阀二(3)处于反吹状态，将电子级氯气吹扫置换定量环一(21)和定量环二(31)；步骤3：将十通阀一(2)、十通阀二(3)切到进样状态，推动定量环一(21)、定量环二(31)中的样品气到预分离柱一(22)、预分离柱二(32)中进行分离；步骤4：待样品气中的杂质组分完全进入分离柱一(23)、分离柱二(33)时，十通阀一(2)、十通阀二(3)切到反吹状态，将预分离柱一(22)、预分离柱二(32)中的氯气反吹排空；步骤5：继续推动分离柱一(23)、分离柱二(33)中的杂质组分经四通阀二(4)进入DID检测器进行检测。

2.根据权利要求1所述的一种高纯度氯气的分析方法，其特征在于，所述步骤2中电子级氯气吹扫置换定量环一(21)、定量环二(31)时四通阀一(1)的1号口和2号口连通、3号口和4号口连通，且电子级氯气吹扫置换定量环一(21)、定量环二(31)的流量为80ml/min，吹扫置换时间为三分钟。

3.根据权利要求1所述的一种高纯度氯气的分析方法，其特征在于，所述步骤4的具体步骤为：

步骤41、待样品气中的杂质组分H2、O2+Ar、N2、CH4、CO完全进入分离柱一(23)时十通阀一(2)切到反吹状态；

步骤42、待样品气中的杂质组分H2、O2+Ar、N2、CH4、CO、CO2完全进入分离柱二(33)时十通阀二(3)切到反吹状态。

4.根据权利要求1所述的一种高纯度氯气的分析方法，其特征在于，所述十通阀一(2)处于反吹状态时1号口和2号口连通、3号口与4号口连通、5号口与6号口连通、7号口与8号口连通、9号口与10号口连通，十通阀一(2)处于进样状态时1号口和10号口连通、2号口与3号口连通、4号口与5号口连通、6号口与7号口连通、8号口与9号口连通。

5.根据权利要求1所述的一种高纯度氯气的分析方法，其特征在于，所述十通阀二(3)处于反吹状态时1号口和2号口连通、3号口与4号口连通、5号口与6号口连通、7号口与8号口连通、9号口与10号口连通，所述十通阀二(6)处于进样状态时1号口和10号口连通、2号口与3号口连通、4号口与5号口连通、6号口与7号口连通、8号口与9号口连通。

6.根据权利要求1所述的一种高纯度氯气的分析方法，其特征在于，所述四通阀二(4)的1号口通过检测气路(5)与DID检测器的进口连接，所述分离柱一(23)中的杂质组分进入DID检测器时，所述四通阀二(4)的1号口和2号口连通、3号口与4号口连通，所述分离柱二(33)中的杂质组分进入DID检测器时，所述四通阀二(4)的1号口和4号口连通、2号口与3号口连通。

7.根据权利要求1所述的一种高纯度氯气的分析方法，其特征在于，所述预分离柱一(22)分别与十通阀一(2)的3号口和9号口相连，所述分离柱一(23)分别与十通阀一(2)的2号口和四通阀二(4)的2号口相连，所述预分离柱二(32)分别与十通阀二(3)的3号口和9号口相连，所述分离柱二(33)分别与十通阀二(3)的2号口和四通阀二(4)的4号口相连，所述定量环一(21)分别与所述十通阀一(2)的5号口和8号口连通，所述定量环二(31)分别与所述十通阀二(2)的5号口和8号口连通。

8.根据权利要求1所述的一种高纯度氯气的分析方法，其特征在于，所述四通阀一(1)的1号口、十通阀一(2)的1号口、十通阀一(2)的4号口、十通阀二(3)的1号口、十通阀二(3)的4号口分别连接有进气管，且进气管上设有波纹管阀，所述四通阀一(1)的2号口、十通阀一(2)的10号口、十通阀二(3)的10号口、四通阀二(4)的3号口分别与尾气出口连通，所述四通阀一(1)的3号口与取样管路(11)连通，所述四通阀一(1)的4号口与十通阀一(2)的7号口连通，所述十通阀一(2)的6号口与十通阀二(3)的6号口连通。