[发明专利]流量传感器及其制作方法有效
| 申请号： | 202210668802.4 | 申请日： | 2022-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN114964400B | 公开（公告）日： | 2023-06-30 |
| 发明（设计）人： | 丰永;沈省;兰之康 | 申请（专利权）人： | 南京高华科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01F1/69 | 分类号： | G01F1/69 |
| 代理公司： | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226 | 代理人： | 魏言笑 |
| 地址： | 210046 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 流量传感器 及其 制作方法 | ||
1.一种流量传感器的制作方法，其特征在于，包括：
提供柔性衬底(1)，径向拉伸所述柔性衬底(1)至预设距离；
在所述柔性衬底(1)表面形成牺牲层(2)；
在所述牺牲层(2)上形成加热电阻(3)，所述加热电阻(3)位于所述柔性衬底(1)表面的中心；
在所述柔性衬底(1)表面形成多个焊盘(4)，多个所述焊盘(4)绕所述柔性衬底(1)表面的中心阵列分布；
在所述牺牲层(2)上形成多个导线(5)，每个所述导线(5)连接在所述加热电阻(3)及相应所述焊盘(4)之间；
去除所述牺牲层(2)；
解除对所述柔性衬底(1)的拉伸，使所述柔性衬底(1)径向收缩，以使所述加热电阻(3)远离所述柔性衬底(1)表面。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述使所述柔性衬底(1)径向收缩，包括：
对所述柔性衬底(1)施加径向外力，使所述柔性衬底(1)径向收缩。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述使所述加热电阻(3)远离所述柔性衬底(1)表面，包括：
所述导线(5)弯曲变形，以使所述加热电阻(3)沿远离所述柔性衬底(1)表面的方向移动。
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述使所述加热电阻(3)远离所述柔性衬底(1)表面，还包括：
所述柔性衬底(1)弯曲变形形成凹腔(6)，以使所述加热电阻(3)远离所述柔性衬底(1)表面。
5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述牺牲层(2)的表面为锥形。
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述导线(5)的至少部分蛇形弯曲。
7.一种流量传感器，其特征在于，包括：
径向拉伸的柔性衬底(1)；
加热电阻(3)，悬设于所述柔性衬底(1)表面上方；
多个焊盘(4)，形成于所述柔性衬底(1)表面，且沿所述加热电阻(3)的中心阵列分布在所述加热电阻(3)的外围；
多个导线(5)，每个所述导线(5)连接于所述加热电阻(3)和所述焊盘(4)之间，且通过解除对所述柔性衬底(1)的拉伸，使所述柔性衬底(1)径向收缩，以使所述导线弯曲变形，以支撑所述加热电阻(3)悬设于所述柔性衬底(1)表面上方。
8.根据权利要求7所述的流量传感器，其特征在于，所述柔性衬底(1)上设有凹腔(6)，所述凹腔(6)由所述柔性衬底(1)径向收缩时弯曲变形形成。
9.根据权利要求7所述的流量传感器，其特征在于，所述导线(5)的至少部分蛇形弯曲。
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