[发明专利]流量传感器及其制作方法

说明书

本申请公开了一种流量传感器及其制作方法，所述方法包括：提供柔性衬底(1)；在所述柔性衬底(1)表面形成牺牲层(2)；在所述牺牲层(2)上形成加热电阻(3)，所述加热电阻(3)位于所述柔性衬底(1)表面的中心；在所述柔性衬底(1)表面形成多个焊盘(4)，多个所述焊盘(4)绕所述柔性衬底(1)表面的中心阵列分布；在所述牺牲层(2)上形成多个导线(5)，每个所述导线(5)连接在所述加热电阻(3)及相应所述焊盘(4)之间；去除所述牺牲层(2)；使所述柔性衬底(1)径向收缩，以使所述加热电阻(3)远离所述柔性衬底(1)表面。本申请的方法无需在衬底上设置隔热腔，而且能够使加热电阻和柔性衬底之间保持较大的距离来进行隔热，有利于提高器件灵敏度，降低器件制作难度。

技术领域

本申请属于传感器技术领域，具体涉及一种流量传感器及其制作方法。

背景技术

流量传感器在工业过程控制，室内供热通风与空气调节，医疗器械制造等领域均有着广泛的应用。目前的流量传感器大都采用热原理，通过测量流体带走的热量多少来对流体流量进行检测。然而，对于基于热原理的流量传感器，其功耗和灵敏度是相矛盾的，越高的灵敏度往往意味着更高的功耗。因此，研究如何在特定的功耗下实现流量传感器的灵敏度提升，对推动流量传感器的研究具有重要意义。

发明内容

本申请的目的是提供一种流量传感器及其制作方法，该方法无需在衬底上设置隔热腔，而且能够使加热电阻和柔性衬底之间保持较大的距离来进行隔热，有利于提高器件灵敏度，降低器件制作难度。

根据本申请实施例的第一方面，提供一种流量传感器的制作方法，包括：

提供柔性衬底；

在所述柔性衬底表面形成牺牲层；

在所述牺牲层上形成加热电阻，所述加热电阻位于所述柔性衬底表面的中心；

在所述柔性衬底表面形成多个焊盘，多个所述焊盘绕所述柔性衬底表面的中心阵列分布；

在所述牺牲层上形成多个导线，每个所述导线连接在所述加热电阻及相应所述焊盘之间；

去除所述牺牲层；

使所述柔性衬底径向收缩，以使所述加热电阻远离所述柔性衬底表面。

在一可选实施例中，所述使所述柔性衬底径向收缩，包括：

对所述柔性衬底施加径向外力，使所述柔性衬底径向收缩。

在一可选实施例中，所述提供柔性衬底，包括：

提供柔性衬底，径向拉伸所述柔性衬底至预设距离；

所述使所述柔性衬底径向收缩，包括：

解除对所述柔性衬底的拉伸，所述柔性衬底至少在自身弹力作用下径向收缩。

在一可选实施例中，所述使所述加热电阻远离所述柔性衬底表面，包括：

所述导线弯曲变形，以使所述加热电阻沿远离所述柔性衬底表面的方向移动。

在一可选实施例中，所述使所述加热电阻远离所述柔性衬底表面，还包括：

所述柔性衬底弯曲变形形成凹腔，以使所述加热电阻远离所述柔性衬底表面。

在一可选实施例中，所述牺牲层的表面为锥形。

在一可选实施例中，所述焊盘的材料包括钛。

在一可选实施例中，所述导线的至少部分蛇形弯曲。

根据本申请实施例的第二方面，提供一种流量传感器，包括：

柔性衬底；

加热电阻，悬设于所述柔性衬底表面上方；