[发明专利]一种晶片抛光用防崩角的无蜡垫及其生产工艺

权利要求书

1.一种晶片抛光用防崩角的无蜡垫，其特征在于：包括基垫层(1)，所述基垫层(1)的下方连接有抛光层(11)，基垫层(1)与抛光层(11)中间开设有中空槽(12)，中空槽(12)的内部设置有松紧调整组件(2)，所述基垫层(1)的上方内设置有吸附层(13)，基垫层(1)上端开设有与中空槽(12)互通的六角调整螺孔(14)，所述松紧调整组件(2)包括加强组件(21)、弹性组件(22)、加固组件(23)和收卷组件(24)，加强组件(21)设置在抛光层(11)与基垫层(1)连接处上表面，加强组件(21)之间交错处的抛光层(11)上设置有弹性组件(22)，加固组件(23)设置在加强组件(21)上方的中空槽(12)内，加强组件(21)中间处设置有与弹性组件(22)连接的收卷组件(24)，所述加强组件(21)包括环形金属条(211)和条形金属条(212)，条形金属条(212)设置多组，且多组以抛光层(11)圆心处为中心环形对称分布，环形金属条(211)设置多组，且多组环形金属条(211)以抛光层(11)中心为圆心从小到大包覆式设置，环形金属条(211)和条形金属条(212)均压制固定在抛光层(11)上表面，所述弹性组件(22)由多组弹力绳(221)交错设置组成，多组弹力绳(221)中心重复交错设置在加强组件(21)之间，每组弹力绳(221)的两端均穿透加固组件(23)反向缠绕设置在收卷组件(24)上，所述加固组件(23)包括中心环座(231)、加固杆(232)、穿透孔(233)和互通槽(234)，中心环座(231)的外侧壁上环绕设置有多组加固杆(232)，加固杆(232)的数量与弹力绳(221)两端的数量相匹配，且每两组加固杆(232)以中心环座(231)为中心对称设置，加固杆(232)内开设有用于弹力绳(221)穿透的穿透孔(233)，中心环座(231)内开设有与多组穿透孔(233)互通的互通槽(234)，中心环座(231)上安装有收卷组件(24)，所述收卷组件(24)包括上套座(241)、转孔(242)、转杆(243)、六角螺杆套管(244)和卡位装置(245)，上套座(241)固定在中心环座(231)上方，上套座(241)内开设有与互通槽(234)贯通的转孔(242)，转孔(242)内设置有转杆(243)，转杆(243)上缠绕有弹性组件(22)，转杆(243)的上方设置有六角螺杆套管(244)，上套座(241)的内壁上开设有对转杆(243)限位的卡位装置(245)，所述卡位装置(245)包括限位杆(2451)、活动轴杆(2452)、挤压弹簧(2453)和内置槽(2454)，内置槽(2454)开设在上套座(241)内壁上，限位杆(2451)设置在内置槽(2454)内，且限位杆(2451)一端通过活动轴杆(2452)与轴接在内置槽(2454)内，活动轴杆(2452)两端固定在内置槽(2454)上下端的上套座(241)内，限位杆(2451)另一端后方通过挤压弹簧(2453)与内置槽(2454)内壁对接，转杆(243)设置在卡位装置(245)的中心，卡位装置(245)设置多组，多组卡位装置(245)以上套座(241)的圆心为中心环绕分布，且多组卡位装置(245)结构为顺时针分布，转杆(243)上开设有与限位杆(2451)配合的卡位凹槽。

2.根据权利要求1所述的一种晶片抛光用防崩角的无蜡垫，其特征在于：所述加固杆(232)与中心环座(231)连接的一端上设置有插接环(2321)，插接环(2321)的外侧面上设置有多组插接板(2322)，中心环座(231)上开设有与插接环(2321)对应的插接口(2311)，插接口(2311)内壁上开设有与插接板(2322)对应的插槽(2312)，插槽(2312)底端延伸开设有弧形卡槽(2313)，每组插接板(2322)顺时针方向一侧的端口小于插接板(2322)另一侧端，插接板(2322)顺时针方向呈梯形状，弧形卡槽(2313)延伸开设在插槽(2312)顺时针方向，弧形卡槽(2313)内顺时针底端槽口小于弧形卡槽(2313)与插槽(2312)连接口，弧形卡槽(2313)顺时针方向呈梯形槽状，插接板(2322)与弧形卡槽(2313)限位卡合，且插接板(2322)表面上包覆有摩擦垫。