[发明专利]一种晶片抛光用防崩角的无蜡垫及其生产工艺

说明书

本发明公开了一种晶片抛光用防崩角的无蜡垫及其生产工艺，属于无蜡垫技术领域，包括基垫层，所述基垫层的下方连接有抛光层，基垫层与抛光层中间开设有中空槽，中空槽的内部设置有松紧调整组件，所述基垫层的上方内设置有吸附层，基垫层上端开设有与中空槽互通的六角调整螺孔。本发明一种晶片抛光用防崩角的无蜡垫及其生产工艺，有效提高抛光层内部强度，增加其使用寿命，转杆底端从而对每组弹力绳两端进行收卷，边缘处拉伸后在多组弹力绳提拉力的作用下，边缘向上翘，由多组加固杆进行支撑加固，有效保证抛光层表面平整度，防止表面松弛抛光时挤压导致崩角，增加无蜡垫的质量，有效对转杆限位，提高转杆调整后的稳定性，有效防止杆体脱位。

技术领域

本发明涉及到无蜡垫技术领域，特别涉及一种晶片抛光用防崩角的无蜡垫及其生产工艺。

背景技术

无蜡抛光模板又叫吸附垫、背附垫、无蜡抛光垫，主要用于半导体硅晶体材料、宝石晶体片、硅片外延片等产品的单面抛光。

现有的无蜡垫其本身结构没有内部支撑，导致其强度差，容易损坏，使用寿命低，其次在长期抛光后，无蜡垫的抛光面在摩擦的作用下，导致表面松弛，再次抛光摩擦，在挤压的力作用下，容易使无蜡垫的抛光面上发生崩角或者损坏，导致其无法使用，大大降低其使用寿命。

发明内容

本发明的目的在于提供一种晶片抛光用防崩角的无蜡垫及其生产工艺，多组环形金属条包覆式设置，对抛光层环形进行加固，有效提高抛光层内部强度，增加其使用寿命，转杆底端从而对每组弹力绳两端进行收卷，在弹力绳收紧的同时带动抛光层内部向边缘拉伸，保证抛光层表面绷紧的状态，且边缘处拉伸后在多组弹力绳提拉力的作用下，边缘向上翘，由多组加固杆进行支撑加固，有效保证抛光层表面平整度，防止表面松弛抛光时挤压导致崩角，增加无蜡垫的质量，也提高整个无蜡垫的使用寿命，有效对转杆限位，提高转杆调整后的稳定性，有效防止杆体脱位，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种晶片抛光用防崩角的无蜡垫，包括基垫层，所述基垫层的下方连接有抛光层，基垫层与抛光层中间开设有中空槽，中空槽的内部设置有松紧调整组件，所述基垫层的上方内设置有吸附层，基垫层上端开设有与中空槽互通的六角调整螺孔。

进一步地，松紧调整组件包括加强组件、弹性组件、加固组件和收卷组件，加强组件设置在抛光层与基垫层连接处上表面，加强组件之间交错处的抛光层上设置有弹性组件，加固组件设置在加强组件上方的中空槽内，加强组件中间处设置有与弹性组件连接的收卷组件。

进一步地，加强组件包括环形金属条和条形金属条，条形金属条设置多组，且多组以抛光层圆心处为中心环形对称分布，环形金属条设置多组，且多组环形金属条以抛光层中心为圆心从小到大包覆式设置，环形金属条和条形金属条均压制固定在抛光层上表面。

进一步地，弹性组件由多组弹力绳交错设置组成，多组弹力绳中心重复交错设置在加强组件之间，每组弹力绳的两端均穿透加固组件反向缠绕设置在收卷组件上。

进一步地，加固组件包括中心环座、加固杆、穿透孔和互通槽，中心环座的外侧壁上环绕设置有多组加固杆，加固杆的数量与弹力绳两端的数量相匹配，且每两组加固杆以中心环座为中心对称设置，加固杆内开设有用于弹力绳穿透的穿透孔，中心环座内开设有与多组穿透孔互通的互通槽，中心环座上安装有收卷组件。

进一步地，收卷组件包括上套座、转孔、转杆、六角螺杆套管和卡位装置，上套座固定在中心环座上方，上套座内开设有与互通槽贯通的转孔，转孔内设置有转杆，转杆上缠绕有弹性组件，转杆的上方设置有六角螺杆套管，上套座的内壁上开设有对转杆限位的卡位装置。