[发明专利]一种X-ray检测芯片缺陷的感官融合对角识别定位系统及方法

权利要求书

1.一种X-ray检测芯片缺陷的感官融合对角识别定位系统，其特征在于，包括芯片缺陷检测末端装置和至少一个载物台；

所述芯片缺陷检测末端装置包括读写器、深度相机、X-ray射线管、X-ray射线检测器和主控制器，所述深度相机用于获取图像信息和深度信息，所述读写器用于发送和接受射频信号，所述读写器的中心和所述X-ray射线管中心重合，所述X-ray射线管用于发射X-ray射线，所述X-ray射线检测器用于接受X-ray射线并把数据传递给主控制器；

载物台上均布有n个射频标签，n个射频标签将载物台的平面划分为m个矩形的检测分区，所述射频标签用于接受读写器发出的射频信号；

X-ray射线管和X-ray射线检测器依次移动至每个检测分区中心的上方和下方，得到每个检测分区的X-ray图像。

2.根据权利要求1所述的一种X-ray检测芯片缺陷的感官融合对角识别定位系统，其特征在于，n个射频标签等间距并对称排列在载物台平面的对角线及其平行线上，对角线上相邻的每两个射频标签形成一个检测分区。

3.根据权利要求1所述的一种X-ray检测芯片缺陷的感官融合对角识别定位系统，其特征在于，还包括SCARA机器人、人工检测修复传送带和检测传送带，所述人工检测修复传送带和检测传送带相互平行并分别设置在所述SCARA机器人的两侧，所述检测传送带用于将载物台传送至检测位置处，所述SCARA机器人用于检测后存在缺陷的芯片从载物台夹取至人工检测修复传送带上。

4.一种如权利要求1-3任一项所述的X-ray检测芯片缺陷的感官融合对角识别定位系统的缺陷定位方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：

步骤S1：将待检测芯片排布在载物台上并将载物台送至检测位置处，通过深度相机的预定位获取载物台平面的中心位置；

步骤S2：读写器发出两个载波频率不同的射频信号，射频标签接受到信号将信号返回到读写器，测量出射频标签与读写器之间的距离信息，得到每个检测分区的中心位置信息；

步骤S3：X-ray射线管移动至其中一个检测分区的中心位置并发射X-ray射线，通过X-ray射线管扫描获取该检测分区的俯视X-ray图像后，定位下一个检测分区的位置，并使X-ray射线管移动到下一个检测分区中心位置上方，扫描获取下一个检测分区的俯视X-ray图像；

步骤S4：是否已获取全部检测分区的俯视X-ray图像，若未，重复上述步骤S3，若是，则执行步骤S5；

步骤S5：判断各个检测分区内是否有芯片存在缺陷，若有，则从载物台中取出存在缺陷的芯片。

5.根据权利要求4所述的一种X-ray检测芯片缺陷的感官融合对角识别定位系统的缺陷定位方法，其特征在于，步骤S1中：载物台到达检测位置处时，深度相机记录并将获取的图像数据传输至主控制器，通过测定测量点与深度相机的距离D来确定载物台平面中心位置：

其中，c代表光速，t_p为光脉冲的持续时间，S₀表示较早的快门收集的电荷，S₁表示延迟的快门收集的电荷。

6.根据权利要求4所述的一种X-ray检测芯片缺陷的感官融合对角识别定位系统的缺陷定位方法，其特征在于，检测分区是由载物台平面的n个射频标签等间距和对称分布于载物台的对角线及其平行线上划分成的，检测分区为m个，每个检测分区的对角线两端均具有射频标签，同一个射频标签被多个检测分区共用,m与n的关系为:

m＝N² N为自然数，且N1 (4)。