[发明专利]一种压电性能强的PVDF压电薄膜的极化方法在审
申请号: | 202210702479.8 | 申请日: | 2022-06-21 |
公开(公告)号: | CN115188880A | 公开(公告)日: | 2022-10-14 |
发明(设计)人: | 管建国;张成鹏;李德成 | 申请(专利权)人: | 三三智能科技(日照)有限公司 |
主分类号: | H01L41/257 | 分类号: | H01L41/257;H01L41/335;H01L41/317 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 压电 性能 pvdf 薄膜 极化 方法 | ||
本发明公开了一种压电性能强的PVDF压电薄膜的极化方法,属于极化工艺技术领域,包括如下步骤:取PVDF原料液经过滤网进行过滤,通过泵前熔压挤出;本发明中,通过在内设置有对于薄膜的多次不同方法的厚度控制处理,能够有效限制压电薄膜的整体厚度,同时设置有对于压电薄膜的拉伸过程,能够使压电薄膜内分子链或结晶面在平行于拉伸平面的方向上进行取向而有序排列,从而能够有效提升后续的极化加工处理效果,同时在最后还设置有对于薄膜的电晕与过辊处理过程,能够有效提高压电薄膜的表面张力与吸附力,提高薄膜质量,过辊时具有严格的温度控制,可有效保持电晕后的薄膜的表面张力效果,提高薄膜的极化处理后的使用寿命。
技术领域
本发明属于极化工艺技术领域,尤其涉及一种压电性能强的PVDF压电薄膜的极化方法。
背景技术
极化工艺是一种经常被应用的加工工艺,极化工艺能够改变物质的整体的物理性质,现如今压电薄膜的生产领域中,往往使用到极化工艺对于压电薄膜进行极化处理,从而有效改变压电薄膜的整体物理性质,从而提升压电薄膜的整体性能与使用效果。
中国专利公开了(CN111740005B)一种压电薄膜高温极化方法,包括制备压电薄膜、热致相变材料与支撑衬底的复合结构;然后对复合结构进行高温退火,再以热致相变材料作为底电极,在压电薄膜上施加极化电场;最后对极化后的压电薄膜进行表面处理。本发明通过引入相变材料,一方面,相变材料在退火温度下金属化,作为底电极施加极化电压,可以提高压电薄膜的极化一致性;另一方面,相变材料在器件工作温度下绝缘化,可以作为高阻隔离层提升压电器件的射频性能,现如今的极化工艺中,在对于压电薄膜进行极化处理后,并未设置对于压电薄膜的整体电晕处理,从而无法保证成品薄膜的表面张力与吸附力,薄膜质量并未达到最高,亟待需要一种压电性能强的PVDF压电薄膜的极化方法。
发明内容
本发明的目的在于:为了解决现如今的极化工艺中,在对于压电薄膜进行极化处理后,并未设置对于压电薄膜的整体电晕处理,从而无法保证成品薄膜的表面张力与吸附力,薄膜质量并未达到最高的问题,而提出的一种压电性能强的PVDF压电薄膜的极化方法。
为了实现上述目的,本发明采用了如下技术方案:一种压电性能强的PVDF压电薄膜的极化方法,包括如下步骤:
S1、取PVDF原料液经过滤网进行过滤,通过泵前熔压挤出;
S2、PVDF原料液挤出时,经计量泵一定的转速和压力,控制PVDF压电薄膜的厚度;
S3、取成型的PVDF压电薄膜,将其置于流延辊上,改变流延辊的温度与速度,对PVDF压电薄膜的厚度进一步进行控制;
S4、取下PVDF压电薄膜,置于拉伸装置内,对其进行拉伸处理,改变PVDF压电薄膜的厚度与长度;
S5、取出PVDF压电薄膜将其置于恒温箱内,保存一段时间,之后取出等待其自然冷却;
S6、取出PVDF压电薄膜置入加热箱内,对其进行加热,之后对PVDF压电薄膜退火;
S7、将其置于极化装置内,供给稳压电流,进行极化处理;
S8、取出极化处理的PVDF压电薄膜,对其进行电晕处理,电晕后使PVDF压电薄膜过辊;
S9、收取成品、保存。
作为上述技术方案的进一步描述:
所述S1中,取PVDF原料液经过滤网进行过滤,通过泵前熔压挤出排除气泡。
作为上述技术方案的进一步描述:
所述S2中,PVDF原料液挤出时,同时提供10-15rpm的转速与6.0-7.5MPa的压力,控制PVDF压电薄膜的厚度为110-130um。
作为上述技术方案的进一步描述:
所述S3中,取成型的PVDF压电薄膜,将其置于流延辊上,提升流延辊的温度45-65℃与速度至4.5-7.5mpm,对PVDF压电薄膜的厚度进一步进行控制,使其厚度为80-100μm。
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