[发明专利]LCOS结构及其制作方法

说明书

本发明提供一种LCOS结构及其制作方法，包括：半导体基底，其上形成有多个像素区；玻璃基底，玻璃基底与半导体基底相对设置；液晶层，液晶层位于半导体基底与玻璃基底之间；塑料墙，塑料墙设置于半导体基底与玻璃基底之间，塑料墙分隔并包围液晶层以使液晶层与像素区一一对应；第一框胶，每个塑料墙的周圈环绕设置有第一框胶，且第一框胶中不含支撑球。塑料墙支撑形成半导体基底与玻璃基底之间的厚度方向的空间，并容纳液晶层，塑料墙粗略定义能容纳的液晶量并使液晶层尽量避免和第一框胶在固化前接触。通过控制塑料墙高度和滴入的液晶量来控制盒厚。第一框胶中不含支撑球不会对第一框胶下方的电路造成损伤，提高了LCOS结构的良率。

技术领域

本发明属于集成电路制造技术领域，具体涉及一种LCOS结构及其制作方法。

背景技术

LCOS(Liquid Crystal on Silicon，液晶附硅)结构是一种新型的反射式投影显示装置，其是采用半导体硅晶技术控制液晶进而“投射”彩色画面。LCOS结构具有光利用效率高、体积小、开口率高、制造技术成熟等特点，其可以很容易实现高分辨率和充分的色彩表现。上述优点使得LCOS结构在大屏幕显示应用领域具有很大的优势。

如图1所示，LCOS结构包括含有液晶分子的液晶层03，所述液晶分子的定向受像素结构中的每一像素处的电信号控制以形成显示图像。液晶层03用硅衬底01与玻璃衬底02之间的框胶04密封。框胶04中含有支撑球05，LCOS结构的盒厚(液晶层03的厚度)h由支撑球05直径决定。在进行硅衬底01与玻璃衬底02贴合时需要用支撑球05来控制盒厚h。

支撑球05有直径公差，盒厚h较厚时需要大尺寸支撑球，而大尺寸支撑球的直径公差比小尺寸支撑球的直径公差要大得多。大尺寸支撑球由于直径公差更大导致精确控制LCOS结构盒厚的能力更弱，而且大尺寸支撑球还会对框胶05下面的硅衬底01中的电路造成损伤。

发明内容

本发明的目的在于提供一种LCOS结构及其制作方法，塑料墙支撑形成半导体基底与玻璃基底之间的厚度方向的空间，并容纳液晶层，通过控制塑料墙高度和滴入的液晶量来控制盒厚，第一框胶中不含支撑球不会对第一框胶下方的电路造成损伤，提高了LCOS结构的良率。

本发明提供一种LCOS结构，包括：

半导体基底，所述半导体基底上形成有多个规则排列的像素区；

玻璃基底，所述玻璃基底与所述半导体基底相对设置；

液晶层，所述液晶层位于所述半导体基底与所述玻璃基底之间；

塑料墙，所述塑料墙设置于所述半导体基底与所述玻璃基底之间，且所述塑料墙分隔并包围所述液晶层以使所述液晶层与所述像素区一一对应；

第一框胶，所述第一框胶贴合所述半导体基底与所述玻璃基底，每个所述塑料墙的周圈环绕设置有所述第一框胶，且所述第一框胶中不含支撑球。

进一步的，所述LCOS结构还包括：含所述支撑球的第二框胶，所述第二框胶设置于所述半导体基底与所述玻璃基底之间的周圈边缘位置，且位于所述第二框胶正下方的所述半导体基底中不设置电路。

进一步的，所述塑料墙的材质为可固化的硬性塑料，包括聚酰亚胺、聚甲基丙烯酸甲酯和环氧树脂中的至少一种。

进一步的，所述第一框胶正下方的所述半导体基底中设置有电路。

进一步的，所述玻璃基底面向所述半导体基板的一侧表面上还依次形成导电层和第二配向层，所述半导体基板面向所述玻璃基板的一侧表面上还形成有第一配向层，所述液晶层、所述塑料墙和所述第一框胶均形成在所述第一配向层和所述第二配向层之间。

本发明还提供一种LCOS结构的制作方法，包括：

提供半导体基底，所述半导体基底上形成有多个规则排列的像素区；