[发明专利]一种半方晶棒切割系统在审

专利信息
申请号: 202210714491.0 申请日: 2022-06-22
公开(公告)号: CN115091637A 公开(公告)日: 2022-09-23
发明(设计)人: 李正磊;刘旭;魏岳;李建男;刘珊麟 申请(专利权)人: 大连连城数控机器股份有限公司
主分类号: B28D5/04 分类号: B28D5/04;B28D7/04;B28D7/00
代理公司: 北京易捷胜知识产权代理事务所(普通合伙) 11613 代理人: 薛晓萌
地址: 116036 辽宁省大连市甘井子区营*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 一种 半方晶棒 切割 系统
【说明书】:

发明涉及硅晶加工技术领域,尤其涉及一种半方晶棒切割系统。该一种半方晶棒切割系统,由于设置了上下料装置、夹持装置、金刚线切割装置以及相对设置的两个按压装置,进而实现了半方晶棒的自动化切割,提高了半片切割的效率。并且由于设置了按压装置,当金刚线切割装置上的金刚线对第一工件进行切割后,按压装置压紧并带动切割后的两个第二工件反向移动形成金刚线切割装置中金刚线退回的行走空间,以便于金刚线切割装置中金刚线的退回,避免了金刚线在退回过程中再次接触工件,进而有效避免了金刚线的断线。

技术领域

本发明涉及硅晶加工技术领域,尤其涉及一种半方晶棒切割系统。

背景技术

近年来随着光伏行业突飞猛进地扩张,硅单晶的产能持续增加。制备硅单晶的常用方法包括直拉法、区熔法等方法,采用此类方法制备的单晶硅均成圆柱型的晶棒。

光伏太阳能电池用的硅片以往均为正方形,普遍先用开方机将圆形晶棒切成方形晶棒后再进一步切割形成正方形硅片。随着太阳能电池板技术的发展,现开始使用半片即正方形硅片的一半,通过将经过开方机切割后的方形晶棒再沿轴线切成两个半方晶棒后进行切片。而使用现有的金刚线切方机直接对方形晶棒切割时,切方机上的金刚线容易断线,降低了切割效率且切割成本高。

因此,亟需一种半方晶棒切割系统以解决上述问题。

发明内容

(一)要解决的技术问题

鉴于现有技术的上述缺点、不足,本发明提供一种半方晶棒切割系统,能够实现半方晶棒的自动化切割、提高了半片切割的效率且有效避免了金刚线的断线。

(二)技术方案

为了达到上述目的,本发明采用的主要技术方案包括:

本发明实施例提供一种半方晶棒切割系统,包括上下料装置、夹持装置、金刚线切割装置以及相对设置的两个按压装置;上下料装置用于放置工件,上下料装置设置在按压装置的第一方向的一侧;夹持装置用于夹持工件并带动工件移动至两个按压装置的工作台上;金刚线切割装置设置在按压装置的第二方向的一侧,用于切割待切割的第一工件,第一工件切割后形成两个第二工件;按压装置用于压紧并带动切割后的两个第二工件反向移动形成金刚线切割装置中金刚线退回的行走空间。

优选地,按压装置包括支座、回转压紧机构、第一水平驱动机构、工作台以及第二水平驱动机构;回转压紧机构设置于支座的顶端,第一水平驱动机构与回转压紧机构连接并驱动回转压紧机构沿第一方向直线运动;工作台设置于支座的侧壁近另一按压装置的一侧,第二水平驱动机构与工作台连接并驱动工作台沿第一方向直线运动。

优选地,回转压紧机构包括活塞杆、压板、密封套以及回转升降气缸;压板设置于活塞杆的顶端,密封套套设在活塞杆的外侧且与压板的底端固定连接;活塞杆和密封套之间设置有导向套,导向套的底端与回转升降气缸的顶端固定连接,导向套的内壁与活塞杆的外壁贴合,导向套、活塞杆、密封套和压板之间形成气密封室,气密封室用于与进气接头连通,当进气接头连通气体后,气体经过气密封室后通过导向套和密封套之间的缝隙排出;第一水平驱动机构与回转升降气缸连接,以带动回转升降气缸沿第一方向直线运动;回转升降气缸与活塞杆的底端连接且驱动活塞杆升降以及回转运动。

优选地,第二水平驱动机构包括气缸和伸缩杆;气缸设置于支座的侧壁且位于工作台的下方,气缸与伸缩杆连接且驱动伸缩杆带动工作台沿第一方向直线运动。

优选地,按压装置还包括橡胶条;橡胶条设置在压板的底端一侧以接触工件。

优选地,夹持装置包括机械手和机械手驱动机构,机械手用于夹持工件;机械手驱动机构包括机械手升降组件和机械手水平移动组件,机械手升降组件与机械手连接以带动机械手升降运动,机械手水平移动组件与机械手升降组件连接,以带动机械手沿第一方向水平移动。

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