[发明专利]电子级三氯氢硅提纯装置及方法

权利要求书

1.一种电子级三氯氢硅提纯装置，其特征在于，包括：

粗馏塔组，包括至少n个串联的粗馏塔，其中，n≥3，粗馏塔为填料塔，粗馏塔的第2～n级的任意一级粗馏塔的填料上设置有吸附单元，吸附单元用于吸附除去粗三氯氢硅中含有硼、磷的杂质，粗馏塔组用于通过粗馏分离除去粗三氯氢硅中的轻组分、重组分杂质；

精馏塔，与粗馏塔组连接，精馏塔用于通过精馏得到电子级三氯氢硅。

2.根据权利要求1所述的电子级三氯氢硅提纯装置，其特征在于，n＝3，粗馏塔组包括：

第一级粗馏塔，用于通入粗三氯氢硅，通过第一级粗馏塔除去流过第一级粗馏塔的轻组分杂质；

第二级粗馏塔，与第一级粗馏塔的塔釜连接，通过第二级粗馏塔除去流过第二级粗馏塔的重组分杂质；

第三级粗馏塔，与第二级粗馏塔的塔顶连接，通过第三级粗馏塔除去流过第三级粗馏塔的轻组分杂质，第二级粗馏塔或者第三级粗馏塔的填料上设置有吸附单元。

3.根据权利要求2所述的电子级三氯氢硅提纯装置，其特征在于，吸附单元包括：吸附剂及其固定部件，固定部件用于将吸附剂固定装填于其所在的粗馏塔内。

4.根据权利要求3所述的电子级三氯氢硅提纯装置，其特征在于，固定部件包括：底部支撑板、上部压板，其中，底部支撑板用于对吸附剂底部进行支撑，上部压板用于压在吸附剂上部；底部支撑板、上部压板形状均为圆形，其尺寸与其所在的粗馏塔内径一致，其外径贴合在其所在的粗馏塔内壁，底部支撑板及上部压板上设置筛孔；所述吸附剂的直径大于底部支撑板及上部压板上设置的筛孔直径。

5.根据权利要求2所述的电子级三氯氢硅提纯装置，其特征在于，所述吸附单元包括：吸附剂、吸附剂填料，吸附剂通过粘接固定在吸附剂填料表面。

6.根据权利要求2所述的电子级三氯氢硅提纯装置，其特征在于，第一级粗馏塔、第二级粗馏塔、第三级粗馏塔、精馏塔均包括设置于塔内的10段填料，其中，第一级粗馏塔的进料位置为其内第五段填料上部，第二级粗馏塔进料位置为其内第二段填料上部，第三级粗馏塔进料位置为其内第八段填料上部，精馏塔进料位置为其内第二段填料上部。

7.根据权利要求2所述的电子级三氯氢硅提纯装置，其特征在于，还包括：

第一级粗馏塔再沸器，用于对第一级粗馏塔的塔釜排出物料进行升温汽化，第一级粗馏塔再沸器分别与第一级粗馏塔的塔釜、第二级粗馏塔的塔顶连接，第一级粗馏塔的塔釜排出物料与第二级粗馏塔的塔顶排出物料换热；

第二级粗馏塔再沸器，用于对第二级粗馏塔的塔釜排出物料进行升温汽化，第二级粗馏塔再沸器分别与第二级粗馏塔的塔釜、第三级粗馏塔的塔顶连接，第二级粗馏塔的塔釜排出物料与第三级粗馏塔的塔顶排出物料换热；

第三级粗馏塔再沸器，用于对第三级粗馏塔的塔釜排出物料进行升温汽化，第三级粗馏塔再沸器分别与第三级粗馏塔的塔釜、精馏塔的塔顶连接，第三级粗馏塔的塔釜排出物料与精馏塔的塔顶排出物料换热；

精馏塔再沸器，与精馏塔的塔釜连接，精馏塔再沸器用于对精馏塔的塔釜排出物料进行升温汽化。